Микроскоп электронно-ионный растровый Quanta 200 3D

Основные
Тип Quanta 200 3D
Год регистрации 2010
Дата протокола 03д от 29.07.10 п.353
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 40537
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  США 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Микроскоп электронно-ионный растровый Quanta 200 3D (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов ионным пучком.

Микроскоп может применяться при проведения научных и прикладных исследований твердотельных образцов, включая наноструктурированные материалы и нанообъекты, в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, медицине, металлургии, а также в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организаций.

Описание

Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему, выполненную на базе растрового электронного микроскопа и работающую в диапазоне микро- и наноразмеров.

Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), ионной колонны с таллиевым жидкометаллическим источником ионов, камеры образцов с механизмом их перемещения, детектора вторичных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники.

Вакуумная система включает в себя турбомолекулярный и форвакуумный насосы для откачки рабочей камеры микроскопа и гетероионный насос для обеспечения вакуума в области ионной пушки.

Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, возникающих при сканировании сфокусированного электронного или ионного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.

Наличие сфокусированного ионного зонда позволяет производить локальное контролируемое травление образца ионным пучком, при этом режимы травления регулируются изменением ускоряющего напряжения и тока ионного пучка. Контроль параметров рельефа, модифицированного в результате ионного травления (измерение линейных размеров) осуществляется в режиме растрового электронного микроскопа.

Технические характеристики

Параметры

Значение

Диапазон измерений линейных, размеров элементов топологии, мкм

от 0,05 до 1000

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров элементов топологии:

- в диапазоне от 0,05 до 0,15 мкм, %

- в диапазоне от 0,15 до 1000 мкм, %

±12 ±5

Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ, нм, не более

32

Источник электронов

Вольфрамовый катод

Источник ионов

Жидкометаллический галлиевый

Разрешение при ускоряющем напряжении 30 кВ, нм

3

Напряжение питания переменного тока, В

ZZU -15%

Потребляемая мощность, кВт, не более

4,7

Масса, кг

1000

Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм

2820х1350х1800

Рабочие условия эксплуатации:

• температура окружающей среды, °C

• относительная влажность воздуха, не более, %

20±3

95

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на корпус микроскопа и на титульный лист руководства по эксплуатации.

Комплектность

В комплект поставки входят: микроскоп электронно-ионный растровый Quanta 200 3D, комплект ЗИП, расходные материалы, руководство по эксплуатации.

Поверка

Поверка микроскопа электронно-ионного растрового Quanta 200 3D проводится по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».

Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.

Межповерочный интервал -1 год.

Нормативные документы

ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».

Заключение

Тип микроскопа электронно-ионного растрового Quanta 200 3D, утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.

Развернуть полное описание