Назначение
Микроскоп ближнепольный WITec alpha 300 (далее микроскоп) предназначен для измерений геометрических параметров рельефа поверхности в лабораториях научноисследовательских институтов, оптическом приборостроении.
Описание
Принцип работы микроскопа ближнепольного WITec alpha 300 заключается в сканировании поверхности образца источником оптического излучения с размерами, много меньшими длины волны света, который находится на малом расстоянии от поверхности (в ближнем поле излучения). Это позволяет преодолевать дифракционный предел, т.к. в данном случае разрешение уже не зависит от длины волны.
Луч лазера через согласующий элемент попадает в полый кантилевер, на острие которого находится отверстие, служащее диафрагмой и имеющее размеры менее длины волны света. Взаимное перемещение острия и образца в трех измерениях x, y, z осуществляется с помощью пьезодвижителей. Прошедшие через образец или отраженные и рассеянные фотоны улавливаются одним из микрообъективов и направляются в фотоумножитель. В микроскопе ближнепольном WITec alpha 300 имеются вспомогательные узлы, позволяющие осуществлять также функции сканирующего туннельного или атомно-силового микроскопов. Благодаря этому, запись изображения осуществляется одновременно по двум каналам, один из которых воспроизводит рельеф поверхности, а другой - локальное распределение показателя преломления в тончайшем приповерхностном слое. Возможность различения оптического и топографического контрастов существенно упрощает интерпретацию изображения.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа ближнепольного WITec alpha 300
Программное обеспечение
Микроскоп оснащен программным обеспечением WITec Control версии v1.
Весь исходный код и вычислительный алгоритм WITec Control расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы. WITec Control задает пользовательские уровни. Пользователи административного уровня блокируют редактирование для пользователей низших уровней и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице
| Наименование программного обеспечения | Идентификационное наименование программного обеспечения | Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения | Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
| WITec Control | WITec Control.exe | V1 | 08ACE575F265BC6 FBAFD50E100AE60 70 | MD5 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защита программного обеспечения микроскопа соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Технические характеристики
| Наименование параметра | Значение параметра |
| Линейное поле зрения в плоскости XY, мкм | 75х75 |
| Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм | свыше 0 до 6 |
| СКО случайной составляющей погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, мкм | ±0,06 |
| СКО случайной составляющей погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм | ±0,035 |
| Питание, В | 240 ±5 |
| Температура окружающего воздуха, оС | 21 ±3 |
| Относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более | 65 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Комплектность
| Наименование | Кол-во |
| Микроскоп ближнепольный WITec alpha 300 | 1 шт. |
| ПЗС камеры | 3 шт |
| Лазеры возбуждающего излучения (возбуждающие лазеры) | 2 шт |
| Руководство по эксплуатации | 1 экз. |
| Методика поверки | 1 экз. |
Поверка
осуществляется в соответствии с документом по поверке МП 48289-11 «Микроскоп ближнепольный WITec alpha 300. Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011 г. и включенным в комплект поставки.
Основное поверочное оборудование: мера периода и высоты линейная TGQ1 (ГР №41680-09, период шаговой структуры: 3000±10 нм, высота профиля меры: 20±2 нм), мера периода и высоты линейная TGZ1, TGZ2, TGZ3 (ГР №41678-09, высоты выступов в шаговых структурах TGZ1 - 20±2 нм, TGZ2 - 110±10 нм, TGZ3 - 520±20 нм).
Сведения о методах измерений
Методы измерений изложены в документе «Микроскоп ближнепольный WITec alpha 300. Руководство по эксплуатации»
Нормативные документы
ГОСТ 8.296-78. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
