Микроскоп атомно-силовой Innova

Фирма "Veeco Instruments Inc.", США
ГОСРЕЕСТР СИ РФ:45021-10

21.11.24
Микроскоп атомно-силовой Innova

Основные
Тип	Innova
Год регистрации	2010
Дата протокола	03д2 от 29.07.10 п.49
Класс СИ	27.01
Номер сертификата	40590
Срок действия сертификата	. .
Страна-производитель	США
Технические условия на выпуск	тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия)	Е

Назначение

Микроскоп атомно-силовой Innova (далее микроскоп Innova) предназначен для измерений геометрических параметров рельефа поверхности с субнанометровым пространственным разрешением на воздухе и в жидких средах.

Область применения — в лаборатории Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии ФГУП «ВНИИОФИ».

Описание

Принцип действия микроскопа Innova основан на сканировании исследуемой поверхности зондами, регистрации набора физических величин <р;(х,у) и восстановлении по нему геометрии поверхности образца.

В состав микроскопа Innova входят персональный компьютер, контроллер, измерительная головка, набор сканеров, программное обеспечение. В микроскопе Innova реализованы следующие режимы сканирующей зондовой микроскопии:

- полуконтактная атомно-силовая микроскопия,

- контактная атомно-силовая микроскопия,

- электростатическая микроскопия,

- магнитно-силовая микроскопия,

- сканирующая туннельная микроскопия,

- нанолитография.

Программное обеспечение микроскопа Innova защищено от несанкционированного доступа.

Технические характеристики

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, %	± 1
Угол между осями сканирования X и Y, градус	90,0±0,7
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, %	±5
Величина нелинейности сканирования в плоскости XY не более, %	0,5
Величина неплоскостности сканирования по XY не более, нм	80
Номинальное напряжение сети питания, В	220 ± 5%
Габаритные размеры основных составных частей не более, мм - микроскоп Innova - контроллер микроскопа	380x355x355 585x191x585
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °C.................................. - относительная влажность воздуха, %....................................	(22 ± 0,2) (40 ± 2)
Масса, не более, кг	47

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.

Комплектность

В комплект поставки входят:

1.	Микроскоп атомно-силовой Innova	1 шт.
2.	Контроллер микроскопа	1 шт.
3.	Персональный компьютер	1 шт.
4.	Монитор	2 шт.
5.	Сканер с рабочим диапазоном 100 мкм	1шт.
6.	Сканер с рабочим диапазоном 5 мкм	1шт.
7.	Руководство по эксплуатации	1 экз.
8.	Методика поверки	1 экз.

Поверка

Поверка микроскопа Innova осуществляется в соответствии с документом «Микроскоп атомно-силовой Innova фирмы Veeco Instruments Inc. Методика поверки”, утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2010 г.

Основные средства поверки:

мера периода и высоты линейная TGQ1 (Госреестр № 41680-09);

мера периода и высоты линейная TGZ3 (Госреестр № 41678-09).

Межповерочный интервал - один год.

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя «Veeco Instruments Inc.», США.

Заключение

Тип микроскопа атомно-силового Innova утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.

Развернуть полное описание