Микроскоп атомно-силовой Innova

Назначение

Микроскоп атомно-силовой Innova (далее микроскоп Innova) предназначен для измерений геометрических параметров рельефа поверхности с субнанометровым пространственным разрешением на воздухе и в жидких средах.

Область применения — в лаборатории Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии ФГУП «ВНИИОФИ».

Описание

Принцип действия микроскопа Innova основан на сканировании исследуемой поверхности зондами, регистрации набора физических величин <р;(х,у) и восстановлении по нему геометрии поверхности образца.

В состав микроскопа Innova входят персональный компьютер, контроллер, измерительная головка, набор сканеров, программное обеспечение. В микроскопе Innova реализованы следующие режимы сканирующей зондовой микроскопии:

- полуконтактная атомно-силовая микроскопия,

- контактная атомно-силовая микроскопия,

- электростатическая микроскопия,

- магнитно-силовая микроскопия,

- сканирующая туннельная микроскопия,

- нанолитография.

Программное обеспечение микроскопа Innova защищено от несанкционированного доступа.

Технические характеристики

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.

Комплектность

В комплект поставки входят:

Поверка

Поверка микроскопа Innova осуществляется в соответствии с документом «Микроскоп атомно-силовой Innova фирмы Veeco Instruments Inc. Методика поверки”, утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2010 г.

Основные средства поверки:

мера периода и высоты линейная TGQ1 (Госреестр № 41680-09);

мера периода и высоты линейная TGZ3 (Госреестр № 41678-09).

Межповерочный интервал - один год.

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя «Veeco Instruments Inc.», США.

Заключение

Тип микроскопа атомно-силового Innova утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.