Назначение
Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект) (далее - комплект мер толщины) предназначены для воспроизведения, хранения и передачи единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий рабочим средствам измерений: лазерным, спектральным, многоугловым эллипсометрам и спектральным рефлектометрам, а также их поверки и калибровки.
Комплекты мер толщины могут применяться в качестве рабочего эталона согласно Государственной поверочной схеме для средств измерений комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий, утвержденной Приказом Росстандарта от 09.09.2024 № 2154.
Описание
Конструктивно комплект мер толщины представляет собой набор из шести мер диаметром 200 мм из кристаллического кремния Si (вафер), на которых выращены двухслойные покрытия из следующих веществ:
- силицид титана TiSi2/двуокись кремния SiO2;
- нитрид титана TiN/двуокись кремния SiO2;
- алюминий Al/двуокись кремния SiO2;
- двуокись кремния SiO2/аморфный кремний A-Si;
- двуокись кремния SiO2/нитрид кремния Si3N4 (2 меры разной толщины покрытий).
Каждая мера упакована в индивидуальный герметичный пластиковый контейнер, который предохраняет меру от резких ударов и повреждений. На крышке контейнера находится этикетка с маркировкой. Маркировка включает в себя: наименование средства измерений, заводской номер, товарный знак изготовителя, исполнение.
Меры из комплекта мер толщины выпускаются в следующих исполнениях: TiSi2/SiO2, TiN/SiO2, А1/8Ю2, SiO2/A-Si, SiO2/Si3N4.
Комплект мер толщины помещен в тару в виде герметичного ударопрочного кейса для хранения и перевозки. В кейс помещается также набор пинцетов.
Заводской номер комплекта мер толщины, идентифицирующий каждый экземпляр средства измерений, состоит из арабских цифр и наносится типографским способом на этикетку, прикрепляемую на кейс для хранения и перевозки комплекта мер толщины.
Заводской номер мер из комплекта мер толщины, включает в себя: арабские цифры и буквы, нижнее подчеркивание, и наносится типографским способом на этикетку, прикрепляемую на крышку контейнера с мерой из комплекта мер толщины.
Пломбирование комплекта мер толщины не предусмотрено. Нанесение знака поверки на комплект мер толщины не предусмотрено.
Общий вид мер из комплекта мер толщины с обозначением места нанесения заводского номера мер представлен на рисунке 1. Общий вид кейса для хранения и перевозки комплекта мер толщины с обозначением места нанесения заводского номера комплекта мер толщины и места нанесения знака утверждения типа представлен на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид индивидуального герметичного пластикового контейнера с мерой толщины двухслойных оптических покрытий
Место нанесения знака утверждения типа
Место нанесения заводского номера комплекта мер толщины
Рисунок 2 - Общий вид кейса для хранения и перевозки мер толщины двухслойных оптических покрытий (комплект)
Технические характеристики
аблица 1 - Метрологические характеристики комплекта мер толщины
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон допускаемых (номинальных) значений толщин оптического покрытия, нм* - силицид титана TiSi2/двуокись кремния SiO2 - нитрид титана TiN/двуокись кремния SiO2 - алюминий Al/двуокись кремния SiO2 - двуокись кремния SiO2/аморфный кремний A-Si - двуокись кремния SiO2/нитрид кремния Si3N4 - двуокись кремния SiO2/нитрид кремния Si3N4 | от 46 до 54/от 950 до 1050 от 60 до 80/ от 950 до 1050 от 75 до 85/ от 950 до 1050 от 5 до 8/от 114 до 126 от 12 до 18/ от 76 до 84 от 45 до 55/ от 950 до 1050 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщин оптического покрытия, нм | ±0,5 |
| * Действительные значения допускаемых (номинальных) толщин оптического покрытия мер определяются при их первичной поверке |
аблица 2 - Основные технические характеристики комплекта мер толщины
| Наименование характеристики | Значение |
| Диаметр мер толщины, мм, не более | 200 |
| Габаритные размеры индивидуального контейнера (длина*ширинахвысота), мм, не более | 220x240x25 |
| Габаритные размеры ударопрочного кейса (длинахширинахвысота), мм, не более | 412x328x248 |
| Масса комплекта мер толщины в кейсе, кг, не более | 6 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, % - атмосферное давление, кПа | от +19,5 до +20,5 от 45 до 70 от 96 до 104 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации и на этикетку, прикрепляемую на кейс для хранения и перевозки комплекта мер толщины, типографским способом.
Комплектность
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество, шт./экз. |
| Меры толщины двухслойных оптических покрытий | TiSi2/SiO2 | 1 |
| (комплект) | TiN/SiO2 | 1 |
| Al/SiO2 | 1 |
| SiO2/A-Si | 1 |
| SiO2/Si3N4 | 2 |
| Индивидуальный герметичный пластиковый контейнер | - | 6 |
| Герметичный ударопрочный кейс | Корсар | 1 |
| Комплект пинцетов | - | 1 |
| Паспорт | КВФШ.401259.003ПС | 1 |
| Руководство по эксплуатации | КВФШ.401259.003РЭ | 1 |
Сведения о методах измерений
приведены в главе 2 «Использование изделия по назначению» документа КВФШ. 401259.003РЭ «Руководство по эксплуатации. Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект)».
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 09.09.2024 № 2154 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерения комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий»;
КВФШ.401259.003ТУ. Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект).
Технические условия.
