Назначение
Меры ширины и периода специальные МШПС-2.0К (далее - меры) предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и применяются при поверке (калибровке) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.
Описание
Меры представляют собой совокупность пяти групп рельефных шаговых структур на поверхности квадратной кремниевой монокристаллической пластины со стороной не более 10 мм, поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической плоскости (100). Мера состоит из пяти одинаковых групп шаговых структур по три структуры в каждой группе, имеет маркерные линии и цифры, позволяющие однозначно находить измеряемый элемент рельефа. Геометрическая форма элемента рельефа шаговой структуры - трапеция с заданным углом наклона боковых сторон относительно плоскости нижнего основания, равным 54,7°.
Схематические изображения мер представлены на рисунках 1-3.
Рис. 1. Схема расположения групп шаговых структур мер.
1 - группы шаговых структур, 2 - направляющие линии. Размеры указаны в микрометрах
Рис. 2. Группа шаговых структур мер и их обозначения. Размеры указаны в микрометрах.
Рис. 3. Сечение выступа шаговой структуры меры с обозначением параметров.
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики меры приведены в Таблице.
Таблица.
| Наименование | Значение |
| Номинальное значение шага шаговой структуры, мкм | 2,00 |
| Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, мкм, не более | ± 0,05 |
| Диапазон значений ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах (bu), нм | 10 - 500 |
| Наименование | Значение |
| Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах (h), нм | 100 - 1400 |
| Диапазон значений проекции боковой стенки выступа шаговой структуры на плоскость нижнего основания выступов шаговой структуры (a), нм | 75 - 980 |
| Неравномерность ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах (д) в пределах ширины линии ориентирования, нм, не более | 5 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения размеров bu, h, д, нм | ± 2 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения размера a, нм | ± 1 |
| Условия эксплуатации: а) при работе на воздухе - температура окружающего воздуха, °С - относительная влажность, % - атмосферное давление, Па б) при работе в вакуумных условиях - диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па - температура держателя образца, оС | 20 ± 3 65 ± 15 (100 ± 4>103 140-4 - 270 20 ± 3 |
| Масса, кг, не более | 0,009 |
| Габаритные размеры (ширина х глубина х высота), мм, не более | 10х10х0,5 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист паспорта типографским способом.
Комплектность
В комплект поставки входят: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К, футляр, паспорт.
Поверка
осуществляется в соответствии с разделом 8 руководства по эксплуатации, утвержденным руководителем ГЦИ СИ ФГУ «Ростест-Москва» в августе 2006 г.
Средства поверки: микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой Solver Pro, система лазерная измерительная ЛИС-01М.
Сведения о методах измерений
Сведения отсутствуют.
Нормативные документы
ГОСТ Р 8.592-2009 ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления.
МИ 2060-90 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 0,00001 - 50 м и длин волн в диапазоне 0,2 - 50 мкм.
Рекомендации к применению
Применяются для передачи размера единицы длины при поверке оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.
