Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™

Назначение

Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™ (далее - меры) предназначены для воспроизведения эллипсометрических углов Пси у и Дельта А при калибровке и поверке средств измерений пространственного распределения толщины пленок в виде отложений (специализированных многоволновых эллипсометров).

Описание

Принцип действия мер основан на явлении оптического вращения плоскости поляризации.

Меры представляют собой комплекты состоящие из пяти эллипсометрических трубок, одной юстировочной трубки и ложемента. Эллипсометрические трубки изготовлены из алюминия, представляют собой тела вращения с переменным диаметром, в центральной области которых нанесено покрытие из диоксида кремния. Каждая из пяти эллипсометрических трубок имеет различную номинальную толщину покрытия: 27, 48, 81, 130 и 258 нм. В комплекты также входит шестая трубка без покрытия, предназначенная для юстировки системы сканирования специализированных многоволновых эллипсометров.

Передача размера единиц эллипсометрических углов эллипсометрическим трубкам осуществляется с помощью спектрального эллипсометра. Для установки, перемещения и вращения трубок на рабочем столе эллипсометра используется ложемент.

Пломбирование мер не предусмотрено.

Общий вид мер представлен на рисунке 1.

Обозначение места нанесения знака поверки представлено на рисунке 2.

Рисунок 2 - Обозначение места нанесения знака поверки

Программное обеспечение

отсутствует.

Технические характеристики

Таблица 2 - Основные технические характеристики

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.

Таблица 3 - Комплектность средства измерений

Поверка

осуществляется по документу МП 012.М44-19 «ГСИ. Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™. Методика поверки», утверждённому ФГУП «ВНИИОФИ» 15 февраля 2019г.

Основные средства поверки:

Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов по государственной поверочной схеме для средств измерений эллипсометрических углов утвержденной приказом Росстандарта от 22 октября 2018 г. №2221.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых мер с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на футляр мер в соответствии с рисунком 2.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы

Приказ Росстандарта от 22 октября 2018 г. №2221 об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений эллипсометрических углов

Техническая документация фирмы Petroleum Analyzer Company (PAC), США