Назначение
Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™ (далее - меры) предназначены для воспроизведения эллипсометрических углов Пси у и Дельта А при калибровке и поверке средств измерений пространственного распределения толщины пленок в виде отложений (специализированных многоволновых эллипсометров).
Описание
Принцип действия мер основан на явлении оптического вращения плоскости поляризации.
Меры представляют собой комплекты состоящие из пяти эллипсометрических трубок, одной юстировочной трубки и ложемента. Эллипсометрические трубки изготовлены из алюминия, представляют собой тела вращения с переменным диаметром, в центральной области которых нанесено покрытие из диоксида кремния. Каждая из пяти эллипсометрических трубок имеет различную номинальную толщину покрытия: 27, 48, 81, 130 и 258 нм. В комплекты также входит шестая трубка без покрытия, предназначенная для юстировки системы сканирования специализированных многоволновых эллипсометров.
Передача размера единиц эллипсометрических углов эллипсометрическим трубкам осуществляется с помощью спектрального эллипсометра. Для установки, перемещения и вращения трубок на рабочем столе эллипсометра используется ложемент.
Пломбирование мер не предусмотрено.
Общий вид мер представлен на рисунке 1.
Обозначение места нанесения знака поверки представлено на рисунке 2.
Рисунок 2 - Обозначение места нанесения знака поверки
Программное обеспечение
отсутствует.
Технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений эллипсометрических углов (на длинах волн 466, 525, 596, 638 нм), °: Пси у Дельта А | от 30 до 60 от 80 до 260 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений эллипсометрических углов (на длинах волн 466, 525, 596, 638 нм), ° Пси у Дельта А | ±0,1 ±0,2 |
Таблица 2 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Материал мер | Алюминий с покрытием диоксида кремния - SiO2 |
| Габаритные размеры, мм, не более: | |
| - длина | 161,9 |
| - длина центрального участка | 60,3 |
| - наружный диаметр плечиков | 4,7 |
| - наружный диаметр центрального участка | 3,2 |
| - внутренний диаметр | 1,7 |
| Условия эксплуатации: | |
| - температура окружающей среды, °С | от +19,9 до +20,1 |
| - относительная влажность воздуха, % | от 48 до 68 |
| - атмосферное давление, кПа | от 100,175 до 102,825 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™: - трубки эллипсометрические - ложемент | - | 5 шт. 1 шт. |
| Футляр | - | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
| Методика поверки | МП 012.М44-19 | 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 012.М44-19 «ГСИ. Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™. Методика поверки», утверждённому ФГУП «ВНИИОФИ» 15 февраля 2019г.
Основные средства поверки:
Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов по государственной поверочной схеме для средств измерений эллипсометрических углов утвержденной приказом Росстандарта от 22 октября 2018 г. №2221.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых мер с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на футляр мер в соответствии с рисунком 2.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Приказ Росстандарта от 22 октября 2018 г. №2221 об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений эллипсометрических углов
Техническая документация фирмы Petroleum Analyzer Company (PAC), США
76853-19: Методика поверки МП 012.М44-19Скачать8.9 Мб
