Меры периода линейно-угловые TGG1

Основные
Тип TGG1
Год регистрации 2009
Дата протокола Приказ 1802 п. 04 от 12.11.201409д от 08.10.09 п.118
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 36632
Примечание 12.11.2014 продлен срок свидетельства
Срок действия сертификата 12.11.2019
Страна-производитель  Россия 
Технические условия на выпуск ТУ 3932-011-40349675-2009
Тип сертификата (C - серия/E - партия) С

Назначение

Меры периода линейно-угловые TGG1 (далее - меры) относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.

Описание

Меры представляет собой совокупность протяженных периодически расположенных структур на поверхности квадратной кремниевой монокристаллической пластины с размерами квадрата со стороной не более 5 мм, поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической плоскости (100). Мера состоит из одинаковых периодически расположенных структур треугольной формы (в разрезе) с углом при вершине 70 град.

Внешний меры представлен на рисунке 1.

Рисунок 1 - Внешний вид меры периода линейно-угловой TGG1.

Технические характеристики

Таблица 1

Наименование

Значение

Номинальное значение периода структуры меры, мкм

3,00

Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм

± 0,01

Угол в сечении при вершине треугольного профиля, градус (метрологически не нормируется)

50 ± 20

Высота профиля меры не менее, мкм (метрологически не нормируется)

1,50

Условия эксплуатации: а) При работе на воздухе

- температура окружающего воздуха, °С

- относительная влажность, %

- атмосферное давление, Па б) При работе в вакуумных условиях

- диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па

- температура держателя образца, оС

20 ± 3

65 ± 15 (100 ±4)403

от 140-4 до 270

20 ± 3

Масса меры не более, г

5

Габаритные размеры меры, мм

5,0х5,0х0,5

Размеры рабочей области меры, мм

3,0х3,0

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист паспорта и на футляр.

Комплектность

Мера TGG1                                                   - 1шт.;

Специальный футляр                                            - 1 шт.;

Руководство по эксплуатации (паспорт)                          - 1шт.

Поверка

осуществляется в соответствии с методикой, изложенной в разделе 4 Руководства по эксплуатации 3932-011-40349675-2009 РЭ и согласованной ФГУП «ВНИИМС» 06.08.2009 г.

Основное средство поверки - микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой Solver Pro (Госреестр № 28666-10).

Сведения о методах измерений

Меры периода линейно-угловые TGG1. Руководство по эксплуатации.

Нормативные документы

Технические условия 3932-011-40349675-2009 ТУ и руководство по эксплуатации (паспорт) 3932-011-40349675-2009 РЭ.

Рекомендации к применению

- при выполнении работ по оценке соответствия продукции и иных объектов обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о техническом регулировании.

Развернуть полное описание