Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3

Основные
Тип TGZ1, TGZ2, TGZ3
Год регистрации 2009
Дата протокола Приказ 1802 п. 03 от 12.11.201409д от 08.10.09 п.119
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 36633
Примечание 12.11.2014 продлен срок свидетельства
Срок действия сертификата 12.11.2019
Страна-производитель  Россия 
Технические условия на выпуск ТУ 3932-013-40349675-2009
Тип сертификата (C - серия/E - партия) С

Назначение

Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3 (далее - меры) относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.

Описание

Меры представляет собой совокупность шаговых структур на поверхности квадратной кремниевой монокристаллической пластины с размерами квадрата со стороной не более 5 мм, поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической плоскости (100). Мера состоит из одинаковых шаговых структур с прямоугольной геометрической формой элемента рельефа шаговой структуры

Внешний меры представлен на рисунке 1.

Рисунок 1 - Внешний вид меры периода и высоты линейной TGZ1, TGZ2, TGZ3.

Технические характеристики

Таблица 1

Наименование

Значение

Номинальное значение периода структуры меры, мкм

3,00

Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм

± 0,01

Номинальное значение высоты выступов в рельефе шаговых структур, нм

Мера TGZ1

20

110

Мера TGZ2

Мера TGZ3

520

Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в рельефе шаговых структур не более, нм

Мера TGZ1

± 2

Мера TGZ2

± 10

Мера TGZ3

± 20

Условия эксплуатации:

а) При работе на воздухе

- температура окружающего воздуха, °С

20 ± 3

- относительная влажность, %

65 ± 15

- атмосферное давление, Па

(100 ±4)403

б) При работе в вакуумных условиях

- диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па

от 140-4 до 270

- температура держателя образца, оС

20 ± 3

Масса меры не более, г

5

Габаритные размеры меры, мм

5,0х5,0х0,5

Размеры рабочей области меры, мм

3,0х3,0

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист паспорта и на футляр.

Комплектность

Мера TGZ                                                    - 1шт.;

Специальный футляр                                            - 1 шт.;

Руководство по эксплуатации (паспорт)                          - 1шт.

Поверка

осуществляется в соответствии с методикой, изложенной в разделе 4 Руководства по эксплуатации 3932-013-40349675-2009 РЭ и согласованной ФГУП «ВНИИМС 06.08.2009 г.

Основное средство поверки: микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой Solver Pro (Госреестр № 28666-10).

Сведения о методах измерений

Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3. Руководство по эксплуатации.

Нормативные документы

Технические условия 3932-013-40349675-2009 ТУ и руководство по эксплуатации (паспорт) 3932-013-40349675-2009 РЭ.

Рекомендации к применению

- при выполнении работ по оценке соответствия продукции и иных объектов обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о техническом регулировании.

Развернуть полное описание