Назначение
Меры периода и высоты линейные TGQ1 (далее - меры) относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.
Описание
Меры представляет собой совокупность шаговых структур на поверхности квадратной кремниевой монокристаллической пластины с размерами квадрата со стороной не более 5 мм, поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической плоскости (100). Мера состоит из одинаковых шаговых структур с прямоугольной геометрической формой элемента рельефа шаговой структуры
Внешний меры представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид меры периода и высоты линейной TGQ1.
Технические характеристики
Таблица 1
| Наименование | Значение |
| Номинальное значение периода структуры меры, мкм | 3,00 |
| Допускаемое отклонение от номинального значения шага периодической структуры, не более, мкм | ± 0,01 |
| Номинальное значение высоты выступов в рельефе шаговых структур, нм | 20 |
| Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых периодических структурах не более, нм | ± 2 |
| Условия эксплуатации: а) При работе на воздухе - температура окружающего воздуха, °С - относительная влажность, % - атмосферное давление, Па б) При работе в вакуумных условиях - диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па - температура держателя образца, оС | 20 ± 3 65 ± 15 (100 ±4)403 от 140-4 до 270 20 ± 3 |
| Масса меры не более, г | 5 |
| Габаритные размеры меры, мм | 5,0х5,0х0,5 |
| Размеры рабочей области меры, мм | 3,0х3,0 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист паспорта и на футляр.
Комплектность
Мера TGQ1 - 1шт.;
Специальный футляр - 1 шт.;
Руководство по эксплуатации (паспорт) - 1шт.
Поверка
осуществляется в соответствии с методикой, изложенной в разделе 4 Руководства по эксплуатации 3932-012-40349675-2009РЭ и согласованной ФГУП «ВНИИМС 06.08.2009 г.
Основное средство поверки: микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой Solver Pro (Госреестр № 28666-10).
Сведения о методах измерений
Меры периода и высоты линейные TGQ1. Руководство по эксплуатации.
Нормативные документы
Технические условия 3932-012-40349675-2009 ТУ и руководство по эксплуатации (паспорт) 3932-012-40349675-2009 РЭ.
Рекомендации к применению
- при выполнении работ по оценке соответствия продукции и иных объектов обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о техническом регулировании.
