Мера высоты Tencor Instruments SHS-9400A

Основные
Тип Tencor Instruments SHS-9400A
Год регистрации 2011
Дата протокола Приказ 6290 от 31.10.11 п.03
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 44266
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  США 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Мера высоты Tencor Instruments SHS-9400A (далее - мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне 10-9 ^ 10-4 м и поверки (калибровки) профилометра AlphaStep 200.

Описание

Мера представляет собой металлическую структуру известной высоты, нанесенную на поверхность круглого стеклянного цилиндра с отполированной поверхностью. Внешний вид меры представлен на Рисунке 1. Рабочей областью меры является элемент, расположенный в её центре (см. Рисунок 1, в). Внешний вид футляра меры представлен на Рисунке 2.

б)

а)

Рисунок 1 - а) Внешний вид меры Tencor Instruments SHS-9400A; б) Рабочая область меры.

Рисунок 2 -Мера в футляре и место нанесения знака утверждения типа.

Технические характеристики

Наименование

Значение

Номинальное значение высоты, А

9446

Предел допускаемой относительной погрешности высоты структуры в рабочей области, %

3

Условия эксплуатации:

• температура окружающего воздуха, °С

20 ± 3

• относительная влажность, %

65 ± 15

Г абаритные размеры меры, мм

длина

38

ширина

38

высота

8

Размеры рабочей области меры, мм

1X1

Знак утверждения типа

наносится на титульном листе паспорта меры и на футляре меры - методом наклейки.

Комплектность

• Мера высоты Tencor Instruments SHS-9400A               1 шт.

• Специальный футляр                                    1 шт.

• Паспорт на меру высоты Tencor Instruments SHS-9400A    1 шт.

Поверка

осуществляется в соответствии с документом по поверке МП 48096-11 «Мера высоты Tencor Instruments SHS-9400A. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011.

Основные средства поверки:

Профилометр оптический «Talysurf CCI 6000», ГР № 44893-10, диапазон измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,0001 до 400 мкм, пределы допускаемой случайной погрешности 0,3% ±1 нм.

Сведения о методах измерений

Сведений нет.

Нормативные документы

ГОСТ 8.296-2011 «ГСИ. Государственный первичный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,0)25.. .30)0)0) мкм»

Паспорт на меру высоты Tencor Instruments SHS-9400A

Рекомендации к применению

Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений (поверки (калибровки) профилометра AlphaStep 200)

Развернуть полное описание