Назначение
Мера рельефная с наночастицами олова S1937, зав. №003 (далее - мера) предназначена для измерения погрешности микроскопов электронных растровых (РЭМ) в диапазоне 1,2 нм 100 нм при их поверке (калибровке).
Описание
Мера представляет собой проводящую подложку, на которую нанесены и закреплены сферические наночастицы олова различного диаметра, формирующие рельефную поверхность. Размер частиц находится в диапазоне от 4 нм до 20 мкм, и определяется технологией изготовления меры. Аттестуемыми параметрами являются диапазон диаметров частиц олова и допустимая погрешность сферичности частиц, выраженная в коэффициенте d - отношении большего диаметра частицы к меньшему.
Технические характеристики
| Наименование | Значение |
| Диапазон размеров (диаметров) сферических частиц олова в образце, не менее, нм | 5-20 000 |
| Предел допустимой относительной погрешности сферичности наночастиц олова (отношение двух перпендикулярных диаметров наночастиц d), % | 10 |
| Габаритный размер меры (диаметр х высота), мм | 13x12 |
| Размер рабочей области меры (диаметр), мм | 5,0 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульном листе руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
В комплект поставки входит:
| • Мера SI937 | 1 шт. |
| • Специальный футляр | 1 шт. |
| • Руководство по эксплуатации | 1 экз. |
Поверка
Поверка меры проводится в соответствии с документом «Мера рельефная с наночастицами олова S1937. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» » августа 2010 года.
Основным средством поверки является:
- мера периода линейная TDG01 (ТУ 3932-010-40349675-2009, ГР 41676-09);
- микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой NTegra (ТУ 4254-001-586993872009, ГР 28664-10).
Межповерочный интервал - 1 год.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя «Agar Scientific, Ltd», Великобритания.
Заключение
Тип меры рельефной с наночастицами олова S1937 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.
