Мера рельефная с наночастицами олова S1937

Основные
Тип S1937
Год регистрации 2010
Дата протокола 03д от 29.07.10 п.347
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 40521
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Великобритания 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Мера рельефная с наночастицами олова S1937, зав. №003 (далее - мера) предназначена для измерения погрешности микроскопов электронных растровых (РЭМ) в диапазоне 1,2 нм 100 нм при их поверке (калибровке).

Описание

Мера представляет собой проводящую подложку, на которую нанесены и закреплены сферические наночастицы олова различного диаметра, формирующие рельефную поверхность. Размер частиц находится в диапазоне от 4 нм до 20 мкм, и определяется технологией изготовления меры. Аттестуемыми параметрами являются диапазон диаметров частиц олова и допустимая погрешность сферичности частиц, выраженная в коэффициенте d - отношении большего диаметра частицы к меньшему.

Технические характеристики

Наименование

Значение

Диапазон размеров (диаметров) сферических частиц олова в образце, не менее, нм

5-20 000

Предел допустимой относительной погрешности сферичности наночастиц олова (отношение двух перпендикулярных диаметров наночастиц d), %

10

Габаритный размер меры (диаметр х высота), мм

13x12

Размер рабочей области меры (диаметр), мм

5,0

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на титульном листе руководства по эксплуатации методом печати.

Комплектность

В комплект поставки входит:

• Мера SI937

1 шт.

• Специальный футляр

1 шт.

• Руководство по эксплуатации

1 экз.

Поверка

Поверка меры проводится в соответствии с документом «Мера рельефная с наночастицами олова S1937. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» » августа 2010 года.

Основным средством поверки является:

- мера периода линейная TDG01 (ТУ 3932-010-40349675-2009, ГР 41676-09);

- микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой NTegra (ТУ 4254-001-586993872009, ГР 28664-10).

Межповерочный интервал - 1 год.

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя «Agar Scientific, Ltd», Великобритания.

Заключение

Тип меры рельефной с наночастицами олова S1937 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.

Развернуть полное описание