Назначение
Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1 (далее - мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне от 0,2-10’6 до 10-4 м и применяется при калибровке перемещений столика объектов растрового электронного микроскопа.
Описание
Мера ПМН’1 представляет собой совокупность пяти одинаковых групп периодических массивов нанообъектов на поверхности кремниевой монокристаллической пластины диамет’ ром 50 мм. Одна группа расположена в центре пластины, остальные четыре группы располо’ жены симметрично относительно первой в вершинах квадрата со стороной 800 мкм. Размеры каждой группы: 0,1 мм x 0,1 мм. Группы соединяются между собой дорожками шириной 5 мкм и глубиной 0,5 мкм. Внутри каждой группы сформирована рельефная шаговая структура из выступов с размерами 100 нм x 100 нм x 100 нм, которые образуют двумерный периодиче’ ский массив нанообъектов, каждый пятый выступ в строке отсутствует, а в каждой следую’ щей строке отсутствующий выступ смещен на один шаг (период).
Схематическое изображение меры ПМН’1 представлено на рисунке 1.
Рис.1 Схематическое изображение меры ПМН-1.
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики меры приведены в Таблице.
Таблица.
| Наименование характеристики | Значение |
| Номинальное значение среднего шага Tx по оси X периодического массива нанообъектов, нм | 200,1 |
| Номинальное значение среднего шага Ty по оси Y периодического массива нанообъектов, нм | 199,7 |
| Допускаемое отклонение от номинального значения среднего шага Tx (Ty), нм | ±1,0 |
| Среднее квадратическое отклонение Sx (Sy) значений шага по оси X (Y) периодического массива нанообъектов, нм | 1,0 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения параметров Sx (Sy) , нм | ±0,5 |
| Номинальные размеры нанообъектов, нм | 100х100х100 |
| Размеры периодического массива нанообъектов, мкм | 100x100 |
| Рабочие условия эксплуатации: - температура держателя образца, °С - диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па | 20±3 10-4 + 270 |
| Масса без оправы, кг | 0,0023 |
| Габаритные размеры без оправы (диаметр х толщина), мм | 50x0,5 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист паспорта типографским способом.
Комплектность
В комплект поставки входят: мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1, футляр, паспорт.
Поверка
осуществляется по документу МП 49101-12 «Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в ноябре 2011 г.
Средства поверки:
- мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К;
- микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650.
Сведения о методах измерений
Сведения отсутствуют.
Нормативные документы
МИ 2060-90 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 0,00001 - 50 м и длин волн в диапазоне 0,2 - 50 мкм.
Рекомендации к применению
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
