Назначение
Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-3 (далее - мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне от 0210-6 до 0,002 м и применяется при калибровке перемещений столика объектов растрового электронного микроскопа.
Описание
Мера ПМН-3 выполнена на пластине монокристаллического кремния диаметром 50 мм, в центре которой размещены 3 одинаковых модуля, состоящие из примыкающих друг к другу элементов размерами 2 мкм x 2 мкм, с квадратными метками размером 100 нм х100 нм через каждые 10 элементов и цифровыми метками через каждые 100 элементов, имеющие конечный элемент 19,9 мкм х 19,9 мкм с периодическим массивом нанообъектов размерами 100 нм х100 нм.
Конечный элемент представляет собой двумерную периодическую структуру, состоящую из наностолбиков размерами 100 нм x 100 нм x 100 нм, расстояние между столбиками 100 нм.
Квадратные метки образуют одномерную периодическую структуру.
Схематические изображения модуля меры представлены на рисунках 1-3.
Рис.1 Схематическое изображение фрагмента модуля меры ПМН-3.
Рис.2 Схематическое изображение фрагмента модуля меры ПМН-3.
А5
СС
Е ПП~1П |~ П П П Г1Г1Г1Г1 Г1Г1Г1Г1 ~1 п п п ппп
Рис.3 Схематическое изображение фрагмента модуля меры ПМН-3.
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики меры приведены в Таблице.
Таблица.
| Наименование характеристики | Значение |
| Номинальное значение среднего шага Tx по оси X двумерного массива нанообъектов, нм | 200 |
| Номинальное значение среднего шага Ty по оси Y двумерного массива нанообъектов, нм | 200 |
| Допускаемое отклонение от номинального значения среднего шага Tx (Ty), нм | ±1 |
| Среднее квадратическое отклонение Sx (Sy) значений шага по оси X (Y) двумерного массива нанообъектов, нм | 2 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения параметров Sx (Sy) , нм | ±1 |
| Номинальное значение среднего шага Т одномерного массива нанообъектов, мкм | 20,00 |
| Допускаемое отклонение от номинального значения среднего шага T, мкм | ±0,02 |
| Среднее квадратическое отклонение S значений шага одномерного массива нанообъектов, нм | 10 |
| Пределы допускаемой погрешности определения параметра S, нм | ±4 |
| Номинальные размеры нанообъектов, нм | 100x100x100 |
| Размеры двумерного массива нанообъектов, мкм | 19,9x19,9 |
| Общая длина одномерного массива нанообъектов, мм | 2 |
| Наименование характеристики | Значение |
| Рабочие условия эксплуатации: - температура держателя образца, °С - диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па | 20±3 10-4 + 270 |
| Масса без оправы, кг | 0,0023 |
| Габаритные размеры без оправы (диаметр х толщина), мм | 50х0,5 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист паспорта типографским способом.
Комплектность
В комплект поставки входят: мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-3, футляр, паспорт.
Поверка
осуществляется по документу МП 49103-12 «Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-3. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦИВ» в ноябре 2011 г.
Средства поверки:
- мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К;
- микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650.
Сведения о методах измерений
Сведения отсутствуют.
Нормативные документы
МИ 2060-90 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 0,00001 - 50 м и длин волн в диапазоне 0,2 - 50 мкм.
Рекомендации к применению
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
