Назначение
Мера рельефная графитовая S140 (далее - мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне 10’9 + 10'8 м. Применяется для поверки и калибровки микроскопов электронных просвечивающих.
Описание
Мера представляет собой кристалл углерода толщиной менее 1 мкм, закрепленный на объектной сетке диаметром 3 мм для микроскопа электронного просвечивающего (ПЭМ). Аттестованным параметром меры является период кристаллической решетки. При использовании данного параметра для передачи единицы длины применяется кристалл высокой степени чистоты от примесей и иных разновидностей кристаллографических дислокаций. Кристалл закрепляется на объектной сетке таким образом, чтобы кристаллографическая ось Сб была перпендикулярна плоскости сетки.
Технические характеристики
| Наименование | Значение |
| Номинальное значение периода кристаллической решетки меры, нм | 0,314 |
| Предел допускаемой абсолютной погрешности периода кристаллической решетки, нм | ±0,05 |
| Габаритный размер меры (диаметр х толщина), мм | 3x0.1 |
| Размер рабочей области меры (диаметр), мм | 2,0 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульном листе руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
В комплект поставки входит:
| • Мера SI40 | 1 шт. |
| • Специальный футляр | 1 шт. |
| • Руководство по эксплуатации | 1 экз. |
Поверка
Поверка меры проводится в соответствии с документом «Мера рельефная графитовая S140. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» <^Z» августа 2010 года.
Основным средством поверки является:
- мера периода линейная TDG01 (ТУ 3932-010-40349675-2009, ГР 41676-09);
- микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой NTegra (ТУ 4254-001-586993ST-2009, ГР 28664-10).
Межповерочный интервал -1 год.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя «Agar Scientific, Ltd», Великобритания.
Заключение
Тип меры периода рельефной S140 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.
