Назначение
Мера периода рельефная S106, №002 (далее - мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне 10'8 + 10'5 м. Применяется для поверки и калибровки высокоточных микроскопов электронных просвечивающих и других средств измерений малой длины.
Описание
Мера представляет собой реплику трехмерной «шахматной» структуры, находящуюся на объектной сетке для просвечивающего электронного микроскопа (ПЭМ) диаметром 3 мм. Аттестуемым параметром структуры является ее период вдоль двух ортогональных направлений, выделенных вертикальным рельефом (углубления, присутствующие на реплике). Структура лежит в плоскости объектной сетки для ПЭМ.
Технические характеристики
| Наименование | Значение |
| Номинальное значение шага периодической структуры меры вдоль двух ортогональных направлений, мкм | 0,463 |
| Предел допускаемой абсолютной погрешности шага периодической структуры, мкм | ± 0,020 |
| Плотность периодической структуры меры, периодов/мм | 2160 |
| Габаритный размер меры (диаметр х толщина), мм | 3x0.1 |
| Размер рабочей области меры (диаметр), мм | 2,0 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульном листе руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
В комплект поставки входит:
• Мера S106 1шт.
• Специальный футляр 1 шт.
Руководство по эксплуатации 1 экз.
Поверка
Поверка меры проводится в соответствии с документом «Мера периода рельефная S106. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» » августа 2010 года.
Основным средством поверки является:
- мера периода линейная TDG01 (ТУ 3932-010-40349675-2009, ГР 41676-09);
- микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой NTegra (ТУ 4254-001-586993872009, ГР 28664-10).
Межповерочный интервал -1 год.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя «Agar Scientific, Ltd», Великобритания.
Заключение
Тип меры периода рельефной S106 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.
