Мера длины рельефная МДР-3 мкм

Основные
Тип МДР-3 мкм
Год регистрации 2011
Дата протокола Приказ 4992 от 16.09.11 п.68
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 43839
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Россия 
Технические условия на выпуск -
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Мера длины рельефная МДР-3 мкм предназначена для хранения единицы длины для ее передачи микроскопам электронным растровым и другим средствам измерений малой длины, применяемым в сфере нанотехнологий.

Описание

Мера представляет собой квадратную пластину, на рабочей поверхности которой сформирован специфический микрорельеф. Общий вид меры показан на рисунке 1. На рисунке 2 характер микрорельефа на ее рабочей поверхности показан при разных увеличениях растрового электронного микроскопа. Микрорельеф является совокупностью одинаковых между собой шаговых структур с прямоугольной геометрической формой выступающих элементов. На рабочую поверхность меры осуществлено вакуумное напыление золота, что создает поверхностную электропроводность и позволяет использовать меру в качестве полностью готового препарата для растрового электронного микроскопа.

Рисунок 1 - Общий вид меры МДР-3 мкм (показана стрелкой).

При поверке (калибровке) средств измерений с использованием данной меры получают изображение поверхности меры с помощью калибруемого средства измерений. Затем на полученном изображении в поверяемом (калибруемом) средстве измерений величинам шага и высоты выступов придается значение, приведенное в паспорте на использованную меру. Показанные на рисунке 2 результаты измерения шага периодической структуры микрорельефа с помощью растрового электронного микроскопа соответствуют применению меры для калибровки или поверки микроскопов этого типа; собственные метрологические характеристики меры установлены в результате прямых измерений с помощью атомносилового сканирующего микроскопа.

Технические характеристики

Наименование

Значение

Шаг периодической структуры (по двум координатным осям), мкм

3,00

Пределы допускаемой погрешности шага периодической структуры, мкм

± 0,02

Масса не более, г

5,0

Г абаритные размеры, мм

5,0х5,0х0,5

Размеры рабочей области, мм

3,0 х 3,0

Срок службы, лет

5

Рабочие условия: температура меры при работе микроскопа 20±3 °С

Рисунок 2 - Микрорельеф рабочей поверхности меры МДР-3 мкм при разных увеличениях растрового электронного микроскопа.

Знак утверждения типа

наносится на титульном листе паспорта методом печати.

Комплектность

Мера длины рельефная МДР-3 мкм           1 шт.

Футляр                                     1 шт.

Паспорт                                          1 экз.

Методика поверки                             1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 47747-11 «Мера длины рельефная МДР-3мкм. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в 2011 году.

Основными средствами поверки являются:

мера периода линейная TDG01 (ГР 41676-09) с пределами допускаемого отклонения шага структуры от номинального значения ±1 нм;

микроскоп сканирующий зондовый NTegra PRIMA (ГР 28664-10) с пределом допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических размеров (при номинальных размерах более 10 нм) ±(1+0,001L) нм.

Сведения о методах измерений

Сведения отсутствуют

лист № 3

всего листов 3

Нормативные документы

1. Мера длины рельефная МДР-3 мкм. Паспорт.

Рекомендации к применению

Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений

Развернуть полное описание