Назначение
Мера динамическая вертикального перемещения ДКВ-01 (далее - мера) предназначена для воспроизведения перемещений при испытаниях, поверке и калибровке растровых измерительных микроскопов, сканирующих зондовых микроскопов, оптических интерферометров, контактных систем измерения размеров и перемещений в нанометровом диапазоне.
Описание
В основе принципа действия меры лежит управляемая электрическим напряжением деформация исполнительного пьезоэлемента, выполненного из пьезокристаллического материала, характеризуемого пренебрежительно малым гистерезисом и ползучестью. Конструктивно мера выполнена в виде корпуса, внутри которого установлен исполнительный пьезоэлемент с зеркальной отсчетной поверхностью. Для устранения влияния внешних влияющих факторов (температурный дрейф, низкочастотные колебания, ползучесть элементов конструкции и др.) управление перемещением меры осуществляется амплитудно - модулированным сигналом в виде прямоугольных импульсов напряжения, подаваемым с электронной системы управления (ЭСУ), что позволяет отсчитывать перемещения по результатам измерения амплитуды переднего или заднего фронта импульса перемещения.
Рисунок 1 - Общий вид меры динамической вертикального перемещения ДКВ-01
Программное обеспечение
Мера динамическая вертикального перемещения ДКВ-01 оснащена программным обеспечением DAC Generator версии V 1.8, предназначенным для подачи на меру импульсов напряжения с электронной системы управления (ЭСУ).
Вычислительный алгоритм DAC Generator расположен в заранее скомпилированных бинарных файлах и не может быть модифицирован. ПО DAC Generator блокирует редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице
| Наименование программного обеспечения | Идентификационное наименование программного обеспечения | Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения | Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
| DAC Generator | DAC Generator.exe | V 1.8 | 8286A214266346C6F E9E263C45E534A3 | MD5 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования
или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защита программного обеспечения меры динамической вертикального перемещения ДКВ-01 соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Технические характеристики
| Наименование характеристики прибора | Значение |
| Сопротивление электрической изоляции | не менее 5 МОм |
| Диапазон перемещений при изменении управляющего напряжения в пределах -2000 ^ 2000 В | не менее 100 нм |
| Чувствительность | (25 - 40) х 10-3 нм / В |
| Уровень собственных шумов | не более 0,2 нм |
| Разрешающая способность | не хуже 0,2 нм |
| Пределы допускаемой основной абсолютной погрешности воспроизведения перемещений | ±1 нм |
| Погрешность измерения амплитуды генерируемых импульсов напряжения | <0,1 % |
Диапазон рабочих температур: 20 ± 3 °С.
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Комплектность
| Наименование изделия | Кол-во, шт |
| 1. Мера динамическая вертикального перемещения ДКВ-01 | 1 |
| 2. Электронная система управления (ЭСУ) | 1 |
| 3. Кабели соединительные | 1 |
| 4. Программное обеспечение DAC Generator | 1 |
| 5. Руководство по эксплуатации | 1 |
| 6. Методика поверки | 1 |
Поверка
осуществляется по документу МП 48278-11 «Мера динамическая вертикального перемещения ДКВ-01. Методика поверки», разработанному и утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011 года.
Основное поверочное оборудование: прибор Talystep («TAYLOR HOBSON Ltd», Великобритания).
Сведения о методах измерений
«Динамические меры нанометрового диапазона. Руководство по эксплуатации».
ТС.500.000.000 РЭ.
Нормативные документы
ГОСТ 8.296-78. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм
Рекомендации к применению
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений.
