Масс-спектрометры квадрупольные КМС-01/250

Назначение

Масс-спектрометры квадрупольные КМС-01/250 (далее - масс-спектрометры) предназначены для химического и изотопного анализа газовой среды в высоковакуумных и сверхвысоковакуумных системах, а также при подключении средств откачки - для контроля сторонних газовых смесей.

Описание

Квадрупольный масс-спектрометр относится к анализаторам динамического типа. Разделение ионов по удельным зарядам состоит в том, что при прохождении ионов через область постоянного и переменного электрических полей часть ионов может иметь ограниченную амплитуду колебаний, в то время как амплитуда колебаний другой части неограниченно возрастает со временем. Ионы с ограниченной амплитудой попадают на детектор, и их количество (или ток ионов) регистрируется. Сканирование по массам ионов осуществляется линейно изменяющимися напряжениями на электродах анализатора.

Масс-спектрометр включает: анализатор (источник ионов, блок электродов, двойную детекторную систему, цоколь с электрическими вакуумными вводами и фланец разъемного вакуумного соединения по ГОСТ 26526-85, вакуумную аналитическую камеру), блок питания, высокочастотный генератор, устройство регистрации (усилитель импульсов или опционально усилители постоянного тока для работы ВЭУ в токовом режиме и для детектирования коллектором ионов).

Управление масс-спектрометром осуществляется от ПК с помощью специализированного программного обеспечения.

Рис. 1. Фотография внешнего вида масс-спектрометра квадрупольного КМС-01/250

Программное обеспечение

Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1. Таблица 1

Масс-спектрометр КМС-01/250 отображает на экране монитора ПК следующую ин-

формацию:

- текущие параметры с возможностью масштабирования любого отрезка диапазона масс, интенсивностей и концентраций;

- обзорный масс-спектр - полный диапазон регистрируемых масс (от 1 до 250 а.е.м);

- произвольный отрезок массовых чисел (от 0,5 до 250 а.е.м.);

- оконный режим по заданным массовым пикам (число произвольно задаваемых окон от 1 до 250);

- график зависимости концентрации от времени (объемной или массовой) выбранных веществ относительно пика базового вещества, концентрация которого достоверно известна;

- график зависимости концентрации от времени (объемной или массовой) выбранных веществ относительно суммы их интенсивностей;

- архивированные результаты измерений;

- значений питающих напряжений масс-спектрометра с возможностью их изменения.

Уровень защиты встроенного программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений в соответствии с Р 50.2.077-2014 - средний

Влияние программного обеспечения газоанализаторов учтено при нормировании метрологических характеристик.

Технические характеристики

Разрешающая способность на уровне 10 % интенсивности ли-

ний масс-спектра, не менее                                     где М - массовое число

регистрируемого пика

Порог чувствительности по аргону, Па, не более                        7,5 •Ю-12

Предел допускаемого значения среднего квадратичного от-

клонения (СКО) случайной составляющей относительной погрешности, %

Нижний предел диапазона массовых чисел, а.е.м., не более

Верхний предел диапазона массовых чисел, а.е.м., не менее

Верхний предел рабочего давления в области источника ионов

анализатора масс-спектрометра, Па

Потребляемая мощность, В •А, не более:

- без термостатирования анализатора

- с термостатированием анализатора

Габаритные размеры, мм, не более

- вакуумная часть масс-спектрометра                                  260xD 115

- блок электроники                                                300х300х240

Масса, кг, не более (бет вакуумного насоса, запасных частей, инструмента и принадлежностей)

Условия эксплуатации:

от 10 до 35

80

от 85 до 106,7

220 ± 22

50 ± 1

- температура окружающего воздуха, °С

- относительная влажность, %, не более

- атмосферное давление, кПа

- напряжение питающей сети переменного тока, В

- частота питающей сети переменного тока, Гц

Знак утверждения типа

наносится на лицевую панель ВЧ генератора и на титульный лист руководства по эксплуатации масс-спектрометра.

Комплектность

Масс-спектрометр КМС-01/250 поставляется в комплекте.

Генератор высокой частоты (ГВЧ) ШИБР.434946.003.

Программно-управляемый многоканальный блок питания (БП КФМ) ГАЮР 436238.094.

Усилитель импульсов (УИ) ШИБР.434915.003.

Анализатор.

Комплект соединительных кабелей.

Программное обеспечение.

Техническое описание и руководство по эксплуатации.

В вариантном исполнении масс-спектрометра возможна поставка вакуумного насоса, усилитель для работы с ВЭУ в токовом режиме УПТ1, усилитель для работы с коллектором ионов УПТ2, клапан форвакуумной откачки, натекатель-регулятор. Точная комплектация масс-спектрометра КМС-01/250 указывается в договоре поставки.

Поверка

осуществляется по документу Приложение 4 Руководства по эксплуатации ШИБР413514.003 РЭ "Масс-спектрометры квадрупольные КМС-01/250. Методика поверки", утвержденному ГЦИ СИ ФГУП "ВНИИМС" 25 октября 2010 г.

Основные средства поверки:

- ГСО-ПГС, выпускаемые в баллонах под давлением по ТУ 2114-014-20810646-2014: ГСО 10530-2014, ГСО 10531-2014, ГСО 10532-2014;

- воздух ПНГ (ТУ6-21-5- 82) ТУ6-21-5-02.

Сведения о методах измерений

ГОСТ 13320-81 Газоанализаторы промышленные автоматические. Общие технические условия.

ШИБР.413514.003 ТУ. "Масс-спектрометр квадрупольный КМС-01/250. Технические условия".