Назначение
Масс-спектрометр ЭМГ-20-9 предназначен для измерения содержания компонентов газовой фазы, образующейся в процессе производства особо чистого водорода.
Область применения: контроль технологических процессов и качества продукции в топливно-энергетической, газоперерабатывающей, химической промышленности, научные исследования.
Описание
Принцип действия масс-спектрометра ЭМГ-20-9 заключается в разделении ионизированных молекул и атомов по их массам на пучки ионов, летящих в вакууме. Масс-спектрометр ЭМГ-20-9 относится к времяпролетным масс-спектрометрам. Атомы и молекулы анализируемой газообразной пробы ионизируются электронным ударом с образованием положительно заряженных ионов. Образованные ионы выталкиваются в пространство дрейфа электрическим полем посредством импульсов с постоянными амплитудами, формируемых генератором прямоугольных импульсов, что обеспечивает одинаковую начальную кинетическую энергию ионов. В пространстве дрейфа происходит разделение ионов по массам в зависимости от времени свободного пролёта. При равной кинетической энергии более легкие ионы имеют более высокую скорость и достигают детектора раньше, нежели более тяжелые. Перед детектором располагается «фильтр низких энергий»-сеточный электрод для выделения ионного пакета одной массы с меньшим разбросом по времени пролёта. В системе регистрации масс-спектрометра при анализе газовой смеси могут одновременно использоваться два режима: аналоговый и счетный. После регистрации масс-спектра во временной шкале происходит обработка полученных данных и определение состава анализируемой газовой смеси.
Масс-спектрометр конструктивно выполнен в виде промышленной (приборной) стойки. Внутри приборной стойки, с открывающимися передней и задней дверцами, размещены масс-анализатор, система напуска пробы, турбомолекулярный и форвакуумный мембранный насосы с блоками питания, управления и датчиками давления, генератор импульсов, усилитель-интегратор, модуль ионной оптики, блок электроники, который включает в себя систему регистрации, промышленный компьютер, контролеры управления работой масс-спектромегра, модули питания.
Применение в сфере государственного метрологического контроля допускается в соответствии с методиками выполнения измерений, аттестованными или стандартизованными в установленном порядке.
Технические характеристики
1. Диапазон регистрируемых массовых чисел, а.е.м. от 1 до 150.
2. Разрешающая способность, М/ДМ, для высоты пика основного компонента на уровне 50 % от максимальной интенсивности сигнала, не менее
3. Скорость сканирования, а.е.м./с 20000.
4. Относительное СКО выходного сигнала, %, не более
5. Пороговая чувствительность (пределы обнаружения), объемная доля СО, % 5x10’5.
6. Время выхода на рабочий режим измерений, мин
7. Габаритные размеры, ДхШхВ, мм 600x600x1320.
8. Масса, кг
9. Электрическое питание: напряжение 220 (+ 22; -33) В, частота (50 ± 1) Гц.
10. Потребляемая мощность, ВА
450.
от+10 до +35 °C;
от 20 до 80 %;
от 84 до 106,7 кПа.
5000.
6.
11. Условия эксплуатации:
— диапазон температуры окружающей среды
— диапазон относительной влажности
— диапазон атмосферного давления
12. Наработка на отказ, ч.
13. Средний срок службы, лет
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на лицевую панель прибора и титульный лист Руководства по эксплуатации методом компьютерной графики.
Комплектность
Комплектность поставки масс-спектрометров ЭМГ-20-9, зав. № 001, 002, 003, приведена в таблице 1.
Таблица 1.
| № п/п | Наименование | Количество |
| 1. | Масс-спектрометр ЭМГ-20-9 | 1 шт. |
| 2. | Руководство по эксплуатации МТ02Е.000.00РЭ | 1 экз. |
| 3. | Методика поверки МТ02Е.000.00МП | 1 экз. |
Поверка
Поверка осуществляется в соответствии с документом «Масс-спектрометр ЭМГ-20-9. Методика поверки МТ02Е.000.00МП», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП "ВНИИМ им. Д.И.Менделеева" «4» сентября 2009 г.
Основные средства поверки: стандартные образцы состава: газовые смеси СО/Нг ГСО 8958-2008, Хе/Не ГСО 5314-90, газ поверочный нулевой воздух по ТУ 6-21-5-82.
Межповерочный интервал 1 год.
Нормативные документы
1. ГОСТ 12997-84 «Изделия ГСП. Общие технические условия».
2. Техническая документация фирмы-изготовителя МТ02Е.000.00.
Заключение
Тип масс-спектрометров ЭМГ-20-9 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации и после ремонта.
