Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса IMS-4f

Основные
Тип IMS-4f
Год регистрации 2011
Дата протокола Приказ 6354 от 06.12.11 п.07
Класс СИ 31.01
Номер сертификата 44654
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Франция 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Масс-спектрометр вторично-ионный IMS-4f с системой динамического переноса (далее по тексту - прибор) предназначен для измерений тока вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов, в зависимости от отношения массы к заряду вторичных ионов или от времени травления.

Описание

Принцип действия прибора основан на явлении вторичной ионной эмиссии: испускании твердым телом ионов при облучении поверхности ускоренными ионами. В результате взаимодействия первичного иона с энергией в несколько килоэлектронвольт с образцом, возникает каскад атомных столкновений внутри образца, некоторые из которых приводят к эмиссии атомов, расположенных в приповерхностных слоях. Определенная доля этих атомов в процессе эмиссии приобретает положительный или отрицательный заряд (вторичные ионы). Вторичные ионы разделяются в соответствии с их отношением массы к заряду масс-сепаратором с двойной фокусировкой, детектирующая система регистрирует ток вторичных ионов в зависимости от их отношения массы к заряду.

Прибор состоит из ионной пушки, камеры распыления, масс-сепаратора, регистрирующей системы, вакуумной системы, системы управления, рабочего стола с управляющим компьютером и функциональной клавиатурой.

Рисунок 1. Общий вид масс-спектрометра вторично-ионного микрозондового IMS-4f с системой динамического переноса

Программное обеспечение

Управление прибором осуществляется с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.

Таблица 1.

Наименование

ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений

SIMS_v_5.6

5.6

E42AB8650E133D5A 5Е6В66В733АС58АВ 2FADBF2A9E403DD1 608CCDBB9236AA94

ГОСТ Р 34.11-94

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.

Таблица 2.

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений массы вторичных ионов при напряжении на образце минус 4,5 кВ, а.е.м., не менее

266

Пределы допускаемой погрешности измерений массы положительных вторичных ионов, а.е.м. (Мном - номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.)

±(0,1+ МномА0’3)

Пределы допускаемой погрешности измерений массы отрицательных вторичных ионов, а.е.м. (Мном - номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.)

±(0,1+ МномА0’3)

Максимальное масс-спектральное разрешение, не менее

16000

Диапазон установки ускоряющего напряжения первичных ионов цезия Cs+, кВ

от 7,5 до 10

Диапазон установки ускоряющего напряжения первичных ионов кислорода О2 , кВ

от 5 до 17,5

Максимальный ток ионов Cs+ при напряжении на источнике 10 кВ, мкА, не менее

0,3

Максимальный ток ионов O2+ при напряжении на источнике 15 кВ, мкА, не менее

3

Относительное изменение тока вторичных ионов при среднем значении тока не менее b 10’8 имп./с, не более, %

6

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений времени травления, %

1

Потребляемая мощность, кВт, не более

10,0

Масса, кг, не более

1430

Условия эксплуатации:

- диапазон температуры окружающего воздуха, оС

- скорость изменения температуры окружающего воздуха, не более, оС/час

- относительная влажность воздуха, не более, %

- напряжение питания сети, В

- частота питающей сети, Гц

- виброускорение в диапазоне частот от 0,8 до 100 Гц, м^с’2

- внешние магнитные поля, Тл, не более

от 20 до 25

1

75

220 ± 10

50 ± 1

9,8-10-3

3А0’7

Знак утверждения типа

наносится в виде наклейки на ионную пушку прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.

Комплектность

В комплект прибора входят: масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-4f с системой динамического переноса, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.

Поверка

осуществляется по документу МП 48387-11 «Масс-спектрометр вторично-ионный микро-зондовый IMS-4f с системой динамического переноса фирмы «CAMECA», Франция. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в октябре 2011 г.

Средства поверки:

- часть пластины монокристаллического кремния марки ЭКЭФ-0,1-24 по ГОСТ 19658-81;

- образец сплава МЛ-19 на основе магния-неодима-иттрия по ГОСТ 2856-79;

- секундомер «Интеграл С-01».

Сведения о методах измерений

Техническое описание «Масс-спектрометр микрозондовый вторично-ионный IMS-4f производства фирмы CAMECA (Франция)», раздел 6.

Нормативные документы

Техническое описание «Масс-спектрометр микрозондовый вторично-ионный IMS-4f производства фирмы CAMECA (Франция)».

Рекомендации к применению

Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.

Развернуть полное описание