Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-7f

Основные
Тип IMS-7f
Год регистрации 2010
Дата протокола 03д от 29.07.10 п.352
Класс СИ 31.01
Номер сертификата 40536
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Франция 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-7f (далее - прибор) предназначен для измерений массы вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов.

Прибор применяется для контроля дозы имплантации, измерений глубин р-п переходов, разработки технологических процессов, послойного элементного анализа в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, медицине, металлургии.

Описание

Принцип действия прибора основан на явлении вторичной ионной эмиссии: испускании твердым телом ионов при облучении поверхности ускоренными ионами. В результате взаимодействия первичного иона с энергией в несколько килоэлектронвольт с образцом, возникает каскад атомных столкновений внутри образца, некоторые из которых приводят к эмиссии атомов, расположенных в приповерхностных слоях. Определенная доля этих атомов в процессе эмиссии приобретает положительный или отрицательный заряд (вторичные ионы). Вторичные ионы разделяют в соответствии с их отношением массы к заряду масс-сепаратором с двойной фокусировкой и детектируют системой регистрации.

Прибор состоит из ионной пушки, камеры распыления, масс-сепаратора, регистрирующей системы, вакуумной системы, системы управления; рабочего стола с управляющим компьютером и функциональной клавиатурой.

Управление прибором осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения.

Технические характеристики

Основные технические характеристики приведены в Таблице.

Таблица.

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений массы вторичных ионов при напряжении на образце 5 кВ, не менее, а.е.м.

460

Диапазон измерений массы вторичных ионов при напряжении на образце 10 кВ, не менее, а.е.м.

230

Пределы допускаемой погрешности измерений массы положительных вторичных ионов, а.е.м.

(Миом - номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.)

±(0,1+Мном-10'3)

Пределы допускаемой погрешности измерений массы отрицательных вторичных ионов, а.е.м.

(Миом - номинальное значение массы соответствующего отрицательного вторичного иона, а.е.м.)

±(0,1+Мном-10'3)

Максимальное масс-спектральное разрешение, не менее

25000

Ускоряющее напряжение первичных ионов цезия Cs+, кВ

От 1 до 10

Ускоряющее напряжение первичных ионов кислорода Ог+, кВ

От 1,1 до 15

Максимальный ток ионов Cs+ при напряжении на источнике 10 кВ, не менее, мкА

1

Максимальный ток ионов Ог+ при напряжении на источнике 15 кВ, не менее, мкА

7

Максимальный ток ионов Ог+ при напряжении на источнике 1,1 кВ, не менее, нА

100

Геометрические размеры исследуемых образцов (диаметр х толщина), не более, мм

24x3

Потребляемая мощность, кВт, не более

9,9

Масса, кг

1430

Габаритные размеры, мм: - физическая часть - электронная стойка

2240x2080x1550 600x900x1950

Рабочие условия эксплуатации:

- температура окружающего воздуха, °C

- атмосферное давление, кПа

- относительная влажность воздуха, %

- напряжение питания сети, В

- частота питающей сети, Гц

-вибрации:

а) амплитуда смещения в диапазоне частот вибрации от 0,4 до 2,5

Гц не более, мкм

б) виброускорение в диапазоне частот вибрации от 2,5 до 200 Гц, не более, м сек'2

-внешние магнитные поля, не более, Тл

20± 1 101 ±1,4 70±5 230 ± 10 50 ± 1

5

1-Ю'3

3-10'7

Знак утверждения типа

• Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на ионно-оптическую колону прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя.

Комплектность

В комплект прибора входят: масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-7f, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.

Поверка

Поверка масс-спектрометра вторично-ионного микрозондового IMS-7f проводится в соответствии с документом «Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-7f фирмы «САМЕСА», Франция. Методика поверки», утвержденным руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в августе 2010 г.

Средства поверки:

- часть пластины монокристаллического кремния марки ЭКЭФ-0,1-24 по ГОСТ 19658-81;

-индий марки ИН 0000 по ГОСТ 10297-94.

Межповерочный интервал - 1 год.

Нормативные документы

ГОСТ 19658-81. Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия.

ГОСТ 10297-94. Индий. Технические условия.

Заключение

Тип масс-спектрометра вторично-ионного микрозондового IMS-7f утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.

Развернуть полное описание