Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1

Основные
Тип СТЕПП-ИФП-1
Год регистрации 2011
Дата протокола Приказ 6290 от 31.10.11 п.25
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 44289
Срок действия сертификата 31.10.2016
Страна-производитель  Россия 
Технические условия на выпуск ИФП СО РАН.01.011 ТУ
Тип сертификата (C - серия/E - партия) С

Назначение

Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1 (далее - Комплекты) относятся к классу мер нанометрового диапазона и предназначены для хранения и передачи единицы длины в диапазоне измерений (0,31 - 31) нм и поверки (калибровки) атомно-силовых и цифровых интерференционных микроскопов и других средств измерений малой длины.

Описание

Комплект представляет собой пластину кремния с шестью разными по высоте в диапазоне (0,31 - 31) нм выделенными участками (далее - мерами). Меры состоят из определенного числа ориентированных в направлении кристаллографической плоскости (111) моноатомных ступеней кремния одинаковой высоты. Единица длины, воспроизводимая мерой, измеряется между поверхностями свободными от моноатомных ступеней размерами не менее 1x5 мкм2. В зависимости от особенностей микроскопов Комплект может применяться либо наклеенным на стеклянный пьедестал, либо без него.

fecmo нанесения Знака утверждения типа

Рисунок 1 - Общий вид комплектов мер высоты СТЕПП-ИФП-1

Технические характеристики

Таблица 1

Количество мер в Комплекте, шт

6

Номинальные значения высот мер Комплекта в интервале, нм

0,31 ± 0,1 1 ± 0,31 3 ± 0,7

5 ± 1 20 ± 1

30 ± 3

Абсолютная погрешность измерений высоты мер при доверительной вероятности 0,95 , нм, не более, в диапазоне:

от 0,31 до 20 нм

свыше 20 до 31 нм

±(0,02+29L), где L в мкм ±0,6

Параллельность свободных от моноатомных ступеней поверхностей размерами не менее 1x5 мкм2, ограничивающих меру, нм/мкм, не более

0,02

Габаритные размеры, мм, не более:

- Комплекта без пьедестала

2x10x0,4

- пьедестала

10x10x1,5

- футляра

75х60х12

Масса Комплекта без пьедестала, кг, не более

0,00001

Масса Комплекта с пьедесталом, кг, не более

0,001

Комплекты эксплуатируются в следующих климатических условиях по гр. Д3 ГОСТ Р 52931 со следующими уточнениями:

- температура окружающего воздуха, °С

(20 13)

- верхний предел относительной влажности при 20 °С без образования конденсата, %

80

- атмосферное давление, кПа

(100155)

- класс чистоты по ГОСТ ИСО 14644-1, не более

3 ИСО

При эксплуатации Комплектов в вакууме:

- температура держателя образца, °С

201

- значение давления остаточных газов в камере микроскопа, Па

От 1-10-8 до 270

Средний срок службы, лет, не менее

7

Средняя наработка на отказ, ч, не менее

4000

Знак утверждения типа

наносится на этикетку на футляре, на титульный лист паспорта и руководства по эксплуатации типографским способом.

Комплектность

Таблица 2

Обозначение

Наименование

Кол-во

Примечание

ИФП3293-01

Стеклянный пьедестал для крепления Комплекта

1

-

Футляр

1

ИФП3293 ПС

Паспорт

1

ИФП3293 РЭ

Руководство по эксплуатации

1

ИФП3293МП

Методика поверки

1

Поверка

осуществляется по документу ИФП3293МП «Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Методика поверки», утвержденному ФГУП «СНИИМ» в сентябре 2011 г.

Эталоны, применяемые при поверке: мера периода и высоты линейная TGZ1 (ГОСРЕЕСТР СИ 41678-09), погрешность измерений ± 0,0005 мкм при доверительной вероятности 0,95; Микроскоп сканирующий зондовый Ntegra Vita (ГОСРЕЕСТР СИ 28664-10).

Сведения о методах измерений

ИФП3120РЭ Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Руководство по эксплуатации

Нормативные документы

ИФП СО РАН.01.011ТУ «Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Технические условия»;

«Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Методика поверки».

Рекомендации к применению

При выполнении работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.

Развернуть полное описание