Назначение
Комплекс специализированный метрологический СпМК (далее СпМК) предназначен для измерений перемещений в диапазоне от 5 10-9 до 1 • 10"6 м.
Описание
Принцип действия СпМК основан на интерференционном методе.
В состав СпМК входят следующие составные части:
- интерферометр с блоком цифровой обработки МКНД.1.180.005 (ЛИН-01) (далее интерферометр);
- видеоконтрольное устройство OITEZ DP-M17 (далее видеоконтрольное устройство);
- наностол в составе:
- пьезоплатформа P-611.1S;
- контроллер E-665.SR;
- программное обеспечение PIMikroMove;
- стол виброизоляционный АФЕК.301216.006;
- персональная электронно-вычислительная машина (далее ПЭВМ);
- программное обеспечение (далее ПО) МКНД.60102-01 в составе:
- программа LIDM;
- программа PicoAD.
Интерферометр размещается на столе виброизоляционном и предназначен для измерения перемещений. Для визуализации процесса измерений используется видеоконтрольное устройство.
ПЭВМ, входящая в состав СпМК, представляет собой программный модуль, обеспечивающий выполнение технологического цикла автоматизированной подготовки и ввода настроек, обработки данных, а также формирование отчетной информации. ПЭВМ поставляется с комплектом программного обеспечения.
Для калибровки интерферометра в состав СпМК включен наностол.
Общий вид СпМК представлен на рисунке 1. Внешний вид интерферометра из состава СпМК представлен на рисунке 2.
Программное обеспечение
В состав СпМК входит программное обеспечение LIDM, состоящее из программ LIDM и PicoAD, и программное обеспечение из состава наностола PIMikromove. ПО LIDM предназначено для обработки данных и визуализации результатов измерений. ПО PIMikromove предназначено для управления пьезоплатформой.
ПО соответствует среднему уровню защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| | LIDM | PicoAD | PIMikroMove |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО* | 1.0.0.0 | 1.0 | 2.18.0.0 |
| Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | 9AC60B26 (рассчитан по алгоритму CRC 32) | 0BC70D44 (рассчитан по алгоритму CRC 32) | 4F657106 (рассчитан по алгоритму CRC 32) |
* - номер версии ПО должен быть не ниже указанного в таблице 1.
При нормировании метрологических характеристик было учтено влияние программного обеспечения.
Технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики СпМК представлены в таблице 2.
Таблица 2
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Диапазон измерений перемещений, м | от 5 • 10-9 до 110-6 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений перемещений при многократных измерениях (не менее пяти раз), нм | ±5 |
| Диапазон перемещений пьезоплатформы P-611.1S, м | от 0 до 10010-6 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности перемещений пьезоплатформы P-611.1 S при многократных измерениях (не менее пяти раз), нм | ±2 |
| Масса, кг, не более | 300 |
| Г абаритные размеры, мм, не более | 1700х1100х1100 |
| Питание от сети переменного тока с параметрами: - напряжение, В - частота, Гц | 220±22 50±1 |
| Потребляемая мощность, Вт, не более | 500 |
| Средний срок службы, лет | 5 |
| Средняя наработка на отказ, ч | 10000 |
О/'ч
- диапазон температур окружающего воздуха, С
20±5;
65±15; от 86 до 106.
- диапазон относительной влажности воздуха, %
- диапазон атмосферного давления, кПа
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.
Комплектность
Комплектность СпМК представлена в таблице 3.
Таблица 3
| Наименование | Количество |
| Интерферометр с блоком цифровой обработки МКНД.1.180.005 (ЛИН-01) | 1 шт. |
| Видеоконтрольное устройство OITEZ DP-M17 | 1 шт. |
| Наностол | 1 шт. |
| Стол виброизоляционный АФЕК.301216.006 | 1 шт. |
| Персональная электронно-вычислительная машина | 1 шт. |
| Программное обеспечение | 1 шт. |
| Технические условия АФЕК.401143.002 ТУ | 1 экз. |
| Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ | 1 экз. |
| Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ1 | 1 экз. |
| Методика поверки МП 2511/0009-15 | 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 2511/0009-15 «Комплекс специализированный метрологический СпМК. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» в ноябре 2015 г.
Основные средства поверки:
- компаратор лазерный интерференционный для измерений длины в субмикронном и нанодиапазоне № 01 -2010 из состава Г осударственного первичного эталона единицы длины
- метра ГЭТ 2-2010.
Сведения о методах измерений
Методика измерений приведена в документе «Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ1», 2015 г..
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к специализированному метрологическому комплексу СпМК
1. ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 110-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».
2. Технические условия АФЕК.401143.002 ТУ.
64399-16: Методика поверки МП 2511/0009-15Скачать405.5 Кб