Комплекс специализированный метрологический СпМК

Основные
Тип
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год

Назначение

Комплекс специализированный метрологический СпМК (далее СпМК) предназначен для измерений перемещений в диапазоне от 5 10-9 до 1 • 10"6 м.

Описание

Принцип действия СпМК основан на интерференционном методе.

В состав СпМК входят следующие составные части:

-    интерферометр с блоком цифровой обработки МКНД.1.180.005 (ЛИН-01) (далее интерферометр);

-    видеоконтрольное устройство OITEZ DP-M17 (далее видеоконтрольное устройство);

-    наностол в составе:

-    пьезоплатформа P-611.1S;

-    контроллер E-665.SR;

-    программное обеспечение PIMikroMove;

-    стол виброизоляционный АФЕК.301216.006;

-    персональная электронно-вычислительная машина (далее ПЭВМ);

-    программное обеспечение (далее ПО) МКНД.60102-01 в составе:

-    программа LIDM;

-    программа PicoAD.

Интерферометр размещается на столе виброизоляционном и предназначен для измерения перемещений. Для визуализации процесса измерений используется видеоконтрольное устройство.

ПЭВМ, входящая в состав СпМК, представляет собой программный модуль, обеспечивающий выполнение технологического цикла автоматизированной подготовки и ввода настроек, обработки данных, а также формирование отчетной информации. ПЭВМ поставляется с комплектом программного обеспечения.

Для калибровки интерферометра в состав СпМК включен наностол.

Общий вид СпМК представлен на рисунке 1. Внешний вид интерферометра из состава СпМК представлен на рисунке 2.

Программное обеспечение

В состав СпМК входит программное обеспечение LIDM, состоящее из программ LIDM и PicoAD, и программное обеспечение из состава наностола PIMikromove. ПО LIDM предназначено для обработки данных и визуализации результатов измерений. ПО PIMikromove предназначено для управления пьезоплатформой.

ПО соответствует среднему уровню защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.

Таблица 1

Идентификационные данные (признаки)

Значение

LIDM

PicoAD

PIMikroMove

Номер версии (идентификационный номер) ПО*

1.0.0.0

1.0

2.18.0.0

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

9AC60B26 (рассчитан по алгоритму CRC 32)

0BC70D44 (рассчитан по алгоритму CRC 32)

4F657106 (рассчитан по алгоритму CRC 32)

* - номер версии ПО должен быть не ниже указанного в таблице 1.

При нормировании метрологических характеристик было учтено влияние программного обеспечения.

Технические характеристики

Основные метрологические и технические характеристики СпМК представлены в таблице 2.

Таблица 2

Наименование характеристики

Значение характеристики

Диапазон измерений перемещений, м

от 5 • 10-9 до 110-6

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений перемещений при многократных измерениях (не менее пяти раз), нм

±5

Диапазон перемещений пьезоплатформы P-611.1S, м

от 0 до 10010-6

Пределы допускаемой абсолютной погрешности перемещений пьезоплатформы P-611.1 S при многократных измерениях (не менее пяти раз), нм

±2

Масса, кг, не более

300

Г абаритные размеры, мм, не более

1700х1100х1100

Питание от сети переменного тока с параметрами:

-    напряжение, В

-    частота, Гц

220±22

50±1

Потребляемая мощность, Вт, не более

500

Средний срок службы, лет

5

Средняя наработка на отказ, ч

10000

О/'ч

-    диапазон температур окружающего воздуха, С

20±5;

65±15; от 86 до 106.

-    диапазон относительной влажности воздуха, %

-    диапазон атмосферного давления, кПа

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.

Комплектность

Комплектность СпМК представлена в таблице 3.

Таблица 3

Наименование

Количество

Интерферометр с блоком цифровой обработки МКНД.1.180.005 (ЛИН-01)

1 шт.

Видеоконтрольное устройство OITEZ DP-M17

1 шт.

Наностол

1 шт.

Стол виброизоляционный АФЕК.301216.006

1 шт.

Персональная электронно-вычислительная машина

1 шт.

Программное обеспечение

1 шт.

Технические условия АФЕК.401143.002 ТУ

1 экз.

Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ

1 экз.

Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ1

1 экз.

Методика поверки МП 2511/0009-15

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 2511/0009-15 «Комплекс специализированный метрологический СпМК. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» в ноябре 2015 г.

Основные средства поверки:

- компаратор лазерный интерференционный для измерений длины в субмикронном и нанодиапазоне № 01 -2010 из состава Г осударственного первичного эталона единицы длины

- метра ГЭТ 2-2010.

Сведения о методах измерений

Методика измерений приведена в документе «Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ1», 2015 г..

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к специализированному метрологическому комплексу СпМК

1.    ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 110-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».

2.    Технические условия АФЕК.401143.002 ТУ.

Развернуть полное описание