Назначение
Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем «ЕТ-8680» (далее - комплекс) предназначен для воспроизведения и измерений напряжения и силы постоянного тока, частоты следования прямоугольных импульсов и применяется для высокопроизводительного функционального и параметрического контроля микросхем с числом выводов до 512 с рабочей частотой воспроизводимых сигналов функционального контроля до 100 МГц.
Описание
Принцип действия комплекса основан на формировании сигналов с логическими уровнями ТТЛ, ЭСЛ и КМОП, устанавливаемых пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ и анализа сигналов, прошедших через испытываемые интегральные микросхемы (ИМС) или устройства, с последующей обработкой сигнала.
Режимы работы комплекса устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.
Конструктивно комплекс представляет собой набор отдельных приборов. Все приборы комплекса объединены с помощью интерфейса в единый измерительный комплекс под управлением ПЭВМ.
Комплекс объединяет в своем составе:
- каналы воспроизведения постоянного тока/напряжения №1 - № 4 (система формирования сигналов с логическими уровнями ТТЛ, ЭСЛ и КМОП) (тестер ЕТС 868, размещенный на технологической тележке);
- канал воспроизведения/измерений постоянного тока/напряжения №5 (калибратор -мультиметр цифровой 2410, регистрационный номер 25789-08);
- канал измерений напряжения / силы постоянного / переменного тока и электрического сопротивления и частоты № 1 (мультиметр 34401А, регистрационный номер 16500-97);
- каналы аналогового и цифрового анализа входного сигнала № 2 - №19 (2 аналоговых и 16 цифровых каналов) (осциллограф цифровой MSO3052A, регистрационный номер 4169209).
Органы управления и подстыковочные разъемы расположены на передних и задних панелях элементов комплекса соответственно.
Внешний вид составных частей комплекса, места нанесения знака утверждения типа и мест пломбировки от несанкционированного доступа приведены на рисунках 1 - 8.
место для размещения знака утверждения типа
Рисунок 1 - Общий вид передвижной тележки с оборудованием тестера ЕТС 868
места пломби
ровки от несанкционированного доступа
Рисунок 2 - Вид сзади передвижной стойки с оборудованием тестера ЕТС 868
Рисунок 3 - Канал воспроизведения/измерений постоянного тока/напряжения №5. Вид спереди
места пломбировки от несанкционированного доступа
Рисунок 4 - Канал воспроизведения/измерений постоянного тока/напряжения №5. Вид сзади
Рисунок 5 - Канал измерений №1. Вид спереди
места пломбировки от несанкционированного доступа
Рисунок 6 - Канал измерений №1. Вид сзади
A«toii lKbnd«gi*s IrrfinliVlWan М8О-Х 2024А
Рисунок 7 - Каналы измерений №2 - №19. Вид спереди
места пломбировки от несанкционированного
Рисунок 8 - Каналы измерений №2 - №19. Вид сзади
доступа
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «Symphony» является специализированным ПО управления комплексом цифровых интегральных микросхем «ET-868»
ПО «Symphony» предназначено для управления комплексом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений, проводимых комплексом. ПО «Sym-phony» не может быть использовано отдельно от этого комплекса.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1
| Наименование ПО | Идентификационное наименование ПО | Номер версии (идентификационный номер) ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления идентификатора ПО |
| ПО управления комплексом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений | «Symphony» | 8.50 | 0CBA37892B30AFD 1FD2894077E07796D 15229587BFE5D1A5 329504F484C08E1E | ГОСТ Р34.11-94 |
Метрологически значимая часть ПО комплекса и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 32862010.
Технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики комплекса приведены в таблицах 2 - 6.
Комплекс обеспечивает задание и контроль на каждом выводе сигнала функционального контроля с параметрами в соответствии с таблицей 2.
Таблица 2
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Диапазоны напряжений, В: в диапазоне частот от 1 МГц до 50 МГц низкий уровень (V1l) высокий уровень (V1h) в диапазоне частот от 50 МГц до 100 МГц низкий уровень (V1l) высокий уровень (V1h) | от минус 2 до 6 от (Vil + 0,1) до 6,5 от 0 до 3 от (Vil + 0,1) до 3,3 |
| Дискретность установки напряжений, мВ | 5 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряжений (U), мВ: в диапазоне частот от 1 МГц до 50 МГц в диапазоне частот от 50 МГц до 100 МГц | ± (0,01-U + 10) ± (0,05-U + 10) |
| Диапазон входных напряжений, В | от минус 2,0 до 6,5 |
| Дискретность установки входных напряжений, мВ | 5 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжений (U), мВ | ± (0,01-U + 10) |
| Частота следования импульсов, МГц (с объединением двух каналов) | от 1 до 100 (до 200) |
| Пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты, % | ± 0,1 |
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Скорость нарастания фронта импульса, В/нс, не менее: в диапазоне частот от 1 МГц до 50 МГц в диапазоне частот от 50 МГц до 100 МГц | 1,45 1,40 |
Комплекс обеспечивает воспроизведение и измерение напряжения и силы постоянного тока при параметрическом контроле в соответствии с таблицей 3.
Таблица 3
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока измерителем статических параметров, В | ± 8 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) напряжений постоянного тока измерителем статических параметров, мВ: при ограничении тока до 2 мА при ограничении тока от 2 мА до 20 мА при ограничении тока от 20 мА до 50 мА | ± 15,0 ± 60,0 ± 150,0 |
| Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока измерителем статических параметров, мА | ± 50 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения (измерений) силы постоянного тока измерителем статических параметров, % | ± 1 |
Комплекс обеспечивает воспроизведение и измерение напряжения и силы постоянного тока каналами воспроизведения постоянного тока/напряжения №1, №2, №3, № 4 в соответствии с таблицей 4.
Таблица 4
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 1, В | от 0,01 до 6 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 1, мВ | ± (0,01-U+15) |
| Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 1, мА | от 10 до 2000 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения (измерений) силы постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 1, % | ± 5 |
| Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока каналами воспроизведения постоянного тока/напряжения № 2, № 3, В | ± 16 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока каналами воспроизведения постоянного тока/напряжения № 2, № 3, мВ | ± (0,01-U+15) |
| Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока каналами воспроизведения постоянного тока/напряжения № 2, № 3), мА | от 10 до 1000 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения (измерений) силы постоянного тока каналами воспроизведения постоянного тока/напряжения № 2, № 3, % | ± 10 |
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 4, В | от 0,01 до 3,7 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 4, мВ | ± (0,01-И+15) |
| Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 4, А | от 0,1 до 3 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения (измерения) силы постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения №4, % | ± 10 |
| Канал воспроизведения/измерений постоянного тока/напряжения №5 (калибратор-мультиметр цифровой 2410) |
| Диапазон воспроизводимого/измеряемого напряжения постоянного тока, В | от 0,001 до 1000 |
| Пределы допускаемой погрешности воспроизведения/измерений напряжения постоянного тока: на пределах 200 мВ, 2 В на пределе 20 В на пределе 200, 1000 В | ± (2Л0ЛИо + 0,6 мВ) ± (2-10-4-Ио + 2,4 мВ) ± (2-10-4-Ио + 24 мВ), где Ио - значение воспроизводимого/измеряемого напряжения постоянного тока, В |
| Диапазон воспроизводимой/измеряемой силы постоянного тока | от 1 мкА до 1 А |
| Пределы допускаемой погрешности воспроизведения/измерений силы постоянного тока: на пределах 10 мкА, 100 мкА, 1 мА, 10 мА на пределе 100 мА на пределе 1 А | ± (1,2-10’3-1о + 1 мкА) ± 1,5 • 10-Чо ± 3,6- 10-34о, где 1о - значение воспроизводимой/ измеряемой силы постоянного тока, А |
Комплекс обеспечивает измерение и анализ характеристик сигналов, прошедших через испытываемую ИМС с параметрами в соответствии с таблицей 5.
Таблица 5
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Канал измерений №1 (мультиметр 34401A) |
| Диапазон измерений напряжения постоянного тока | от 1 мВ до 1000 В |
| Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока: | ± (5Л0ЛИи + 4 мкВ), где Ии - значение измеряемого напряжения постоянного тока, В |
| Диапазон измерений напряжения переменного тока (среднеквадратического значения) | от 1 мВ до 750 В |
| Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения переменного тока: в диапазоне частот от 3 Гц до 10 Гц в диапазоне частот от более 10 Гц до 20 кГц в диапазоне частот от более 20 кГц до 100 кГц | ± (0,001- Ии + 50,0 мкВ) ± (0,0006^ Ии + 50,0 мкВ) ± (0,004- Ии + 50,0 мкВ) |
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| в диапазоне частот от более 100 кГц до 300 кГц | ± (0,012- Uu + 100,0 мкВ), где Uu - значение измеряемого напряжения переменного тока, В |
| Диапазон измерений силы постоянного тока | от 1 мкА до 3 А |
| Пределы допускаемой погрешности измерений силы постоянного тока: в диапазоне до 100 мкА; в диапазоне от 101 мкА до 100 мА; в диапазоне от 100,1 мА до 1 А; в диапазоне от 1,001 А до 3 А | ± 5,0х10-3х1и, ± 1,0х10-3х1и, ± 2,0х10-3х1и, ± 5,0х10-3х1и, где 1и - значение измеряемой силы постоянного тока, А |
| Диапазон измерений силы переменного тока (среднеквадратического значения) | от 100 мкА до 3 А |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений силы переменного тока: в диапазоне частот от 10 Гц до 5 кГц; в диапазоне частот более 5 кГц до 10 кГц | ± (0,001- 1и + 50,0 мкА) ± (0,002- 1и + 100,0 мкА), где 1и - значение измеряемой силы переменного тока, А |
| Диапазон измерений электрического сопротивления | от 100 мОм до 100 МОм |
| Пределы допускаемой погрешности измерений электрического сопротивления: в диапазоне до 100,0 Ом; в диапазоне от 100,1 Ом до 1,0 кОм; в диапазоне от 1,001 кОм до 10,0 кОм; в диапазоне от 10,001 кОм до 100,0 кОм; в диапазоне от 100,001 кОм до 1,0 МОм; в диапазоне от 1,001 МОм до 10,0 МОм; в диапазоне от 10,001 МОм до 100 МОм | ± 15 мОм ± 110 мОм ± 1,10 Ом ± 11,0 Ом ± 130 Ом ± 4 кОм ± 800 кОм |
| Диапазон измерений частоты | от 3 Гц до 300 кГц |
| Пределы допускаемой погрешности измерений частоты | ±(0,05 Гц + 2- 10-3/F), где F - измеряемое значение частоты, Гц |
| Каналы измерений №2 - №3 (осциллограф цифровой MSO3052A) |
| Диапазон измерений частоты | от 0,1 Гц до 500 МГц |
| Пределы допускаемой погрешности измерений частоты | ±(0,1 Гц + 1-10-3-F), где F - измеряемое значение частоты, Гц |
| Диапазон измерений напряжения постоянно-го/переменного тока: при входном сопротивлении 50 Ом при входном сопротивлении 1 МОм при входном сопротивлении 1 МОм с делителем 10:1 | от 10 мВ до 30 В ср. кв. от 10 мВ до 30 В ср. кв. от 10 мВ до 300 В ср.кв. |
| Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного/переменного тока | ± (5,0х10-3хии), где Uu - значение измеряемого напряжения постоянного/переменного тока, В |
| Каналы анализа логических уровней №4 - №19 (осциллограф цифровой MSO3052A) |
| Диапазон установки порогового напряжения, В | ± 8 |
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Пределы допускаемой погрешности установки порогового напряжения в диапазоне, мВ: от минус 8 В до минус 2 В от более минус 2 В до 2 В от более 2 В до 8 В | ± 400 ± 200 ± 400 |
| Канал воспроизведения/измерений постоянного тока/напряжения №5 (калибратор-мультиметр цифровой 2410) |
| Диапазон измерений электрического сопротивления | от 100,0 мОм до 200 МОм |
| Пределы допускаемой погрешности измерений электрического сопротивления: на пределе 20 Ом на пределе 200 Ом на пределе 2 кОм на пределе 20 кОм на пределе 200 кОм на пределе 2 МОм на пределе 20 МОм на пределе 200 МОм | ± 23,0 мОм ± 170,0 мОм ± 1,70 Ом ± 15,0 Ом ± 170,0 Ом ± 2,50 кОм ± 23,0 кОм ± 670,0 кОм |
Таблица 6 - Габаритные размеры, масса и эксплуатационные характеристики комплекса
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм оборудование, располагаемое на технологической тележке отдельно стоящее дополнительное оборудование: - канал воспроизведения/измерений постоянного тока/напряжения №5 - канал измерений № 1 - каналы измерений №2 - №19 | 700х700х1000 370х220х90 374х255х104 142х381х205 |
| Масса комплекса, кг | 85 |
| Рабочий диапазон температур окружающей среды, °С | от 5 до 35 |
| Относительная влажность воздуха при температуре 20 °С, % | до 80 |
| Атмосферное давление, кПа | от 97 до 105 |
| Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1) Гц, В | 220 ± 22 |
| Потребляемая мощность, В •А, не более | 4400 |
| Средний срок службы, лет | 5 |
| Наработка на отказ, ч | 4000 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на лицевую панель тестера ЕТС 868 в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность
Комплект поставки включает:
- комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем «ЕТ-8680» - 1 шт.;
- «Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем «ET-868О». Формуляр» ТИВН 442241.003 ФО - 1 шт.;
- «Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем «ET-868О. Руководство по эксплуатации» ТИВН 442241.003 РЭ - 1 шт.;
- одиночный комплект ЗИП;
- методика поверки - 1 шт.
Поверка
осуществляется по документу «Инструкция. Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем «ЕТ-8680». Методика поверки. ТИВН 442241.003 МП», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИФТРИ».
Основные средства поверки:
- частотомер универсальные Ч3-86 (регистрационный номер 27901-11) (диапазон измеряемых частот 0,1 Гц - 100 МГц (канал А и В); (0,1 - 1,0) ГГц (канал С); (1,0 - 18,0) ГГц (канал D); уровень входного сигнала: канал А, В: (0,03 - 7) В, канал С: (0,03 - 0,5) В, канал D: (0,02 - 5) мВт);
- цифровой мультиметр 34401А (регистрационный номер 16500-97) (диапазон измерений напряжения постоянного тока от 1 мкВ до 1000 В с пределами допускаемой погрешности измерений ± 0,008 %, диапазон измерений силы постоянного тока от 10 нА до 3А с пределами допускаемой погрешности измерений ± 0,12 %);
- калибратор-вольтметр универсальный В1-28 (регистрационный номер 10759-86) (диапазон воспроизведения/измерений силы постоянного тока от 0,1 нА до 2 А, пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения силы постоянного тока ± (0,002 -0,053) %, пределы допускаемой относительной погрешности измерений силы постоянного тока ± (0,0015 - 0,06) %, диапазон воспроизведения напряжения постоянного тока от 0,1 мкВ до 1000 В, пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока ± (0,003 - 0,0043) %, диапазон измерений напряжения постоянного тока от 1 мкВ до 1000 В, пределы допускаемой относительной погрешности измерений напряжения постоянного тока ± (0,003 - 0,005) %);
- осциллограф цифровой 54642А (регистрационный номер 25619-03) (полоса пропускания от 0 до 500 МГц, развертка по напряжению от 2 мВ/дел до 5 В/дел., 2-х канальный);
- генератор сигналов низкочастотный Г3-110 (регистрационный номер 5460-76), диапазон частот 0,01 Гц до 2 МГц, дискретность установки частоты 0,01 Гц, пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты ± 0,0003 %;
- генератор сигналов высокочастотный Г4-176 (регистрационный номер 11207-88), диапазон частот от 0,Г10-3 до 1,02 ГГц, пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты ± 1,5-10’3 %;
- генератор сигналов произвольной формы 33250A (регистрационный номер 26209-08), предел воспроизведения частоты 80 МГц;
- магазин сопротивлений Р4043 (регистрационный номер 3722-73), класс точности 0,1, максимальное значение рабочего напряжения 3000 В, номинальные значения электрического сопротивления от 10 до 1000 МОм.
Сведения о методах измерений
Комплекс параметров цифровых интегральных микросхем «ET-868». Руководство по эксплуатации. ТИВН 442241.003 РЭ.
Нормативные документы
ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
Комплекс параметров цифровых интегральных микросхем «ЕТ-8680». Руководство по эксплуатации. ТИВН 442241.003 РЭ.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
