Назначение
Измерители удельного сопротивления кремния «РОМЕТР» (далее по тексту - прибор) предназначенный для измерения удельного электрического сопротивления пластин и слитков монокристаллического кремния четырехзондовым методом в автоматическом режиме с управлением от персонального компьютера.
Описание средства измерения
Принцип действия прибора основан на пропускании через исследуемый образец кремния постоянного тока известной величины и измерений возникающей разности потенциалов. Постоянный ток пропускают через образец между внешними зондами четырехзондовой головки и измеряют возникающую разность потенциалов между внутренними. Удельное электрическое сопротивление (УЭС) вычисляется из значений заданного тока и измеренной разности потенциалов с применением поправочных коэффициентов на температуру образца, диаметр и толщину пластины.
Прибор состоит из следующих основных функциональных элементов: четырехзондовой головки с линейным расположением зондов; двух источников питания (один для измерительной схемы, другой для питания шаговых двигателей), микроконтроллера; аналогоцифрового преобразователя (АЦП); аналоговых эквивалентов (АЭ); калиброванного источника тока; измерительного усилителя; датчика температуры; подвижного измерительного столика; неподвижного основания прибора; шаговых двигателей; схемы управления шаговыми двигателями; датчика углового вращения измерительного столика; датчика рабочего положения четырехзондовой головки.
Общий вид измерителя удельного сопротивления кремния «РОМЕТР» представлен на рисунке 1.
Рисунок 2 - Схема пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения знака поверки
Схема пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.
Программное обеспечение
Программное обеспечение предназначено для управления прибором; обработки информации, полученной от измерительных устройств в процессе проведения измерений. Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | ПО «РОМЕТР» |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | v12.c.xxx * |
*- где v12.. - версия ПО; с - серийный номер СИ; ххх - версия сборки ПО.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Диапазон измерения удельного электрического сопротивления, Ом*см | от 0,001 до 10000 |
| Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерения, %, не более: |
| - для удельных электрических сопротивлений в диапазоне от 0,001 до 0,01 Ом*см - для удельных электрических сопротивлений в диапазоне от 0,011 до Ю000Ом*см - для резистивных эквивалентов в диапазоне значений от 0,001 до 0,01 Ом - для резистивных эквивалентов в диапазоне значений от 0,1 до 10000 Ом |
Описание |
| ±2 |
| ±1,5 |
| ±0,7 |
| Пределы допускаемой дополнительной погрешности от изменения температуры окружающей среды в диапазоне рабочих температур не превышает половины соответствующей основной относительной погрешности | |
| Отклонение расстояний между линейно расположенными зондами четырехзондовой головки от паспортных значений не более, мм | ±0,01 |
| Нормальные условия измерений - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, % - атмосферное давление, кПа | от +21 до +25 30-80 от 84 до 106 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
| Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц | 220±22 50±1 |
| Потребляемая мощность при питании от сети переменного тока, В*А, не более | 70 |
| Сопротивление изоляции между входом сетевого разъема и заземляющим проводником в нормальных климатических условиях, МОм, не менее | 20 |
| Г абаритные размеры прибора, мм, не более - высота - ширина - длина | 560 320 410 |
| Масса прибора, кг, не более | 25 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха при +25°С, % - атмосферное давление, кПа | от +18 до +28 80 от 84 до 106 |
| Средний срок службы, лет | 5 |
| Средняя наработка на отказ, ч | 2000 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации ИПЛГ.411721.001 РЭ типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество, шт. |
| Измеритель удельного сопротивления кремния «РОМЕТР» | ИПЛГ.411721.001 | 1 |
| Комплект принадлежностей: | | |
| Паспорт | ИПЛГ.411721.001ПС | 1 |
| Кабель связи между прибором и компьютером | ИПЛГ.434612.003 | 1 |
| Программное обеспечение для ПК на CD-R диске | ИПЛГ.00007 - 01 12 01 | 1 |
| Руководство по эксплуатации | ИПЛГ.411721.001 РЭ | 1 |
| Ящик укладочный | ИПЛГ.305632.025 | 1 |
| Программная документация. Описание программы | ИПЛГ.00007 - 01 13 01 | 1 |
| Наименование | Обозначение | Количество, шт. |
| Образец монокристаллического кремния с удельным сопротивлением в диапазоне от 0,001 до 10000 Ом*см | | 1 |
| Методика поверки | 18-18/015 МП | 1 |
Поверка
осуществляется по документу 18-18/015 МП «Измеритель удельного сопротивления «РОМЕТР». Методика поверки», утвержденному ФБУ «Красноярский ЦСМ» 20.10.2016 г. Основные средства поверки:
- катушка электрического сопротивления Р310, значения сопротивление 0,001; 0,0Юм, класс точности 0,01; (регистрационный № 1162-58)
- магазин сопротивлений Р 327, диапазон сопротивлений 0,1- 111111 Ом, класс точности 0,01; (регистрационный № 3297-72)
- инструментальный микроскоп ИМЦЛ 100*50, А, диапазон измеряемых длин
0 - 100 мм2, 0 - 50 мм, погрешность ±0,003 мм (регистрационный №12129-03).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих метрологические характеристики поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наноситься на боковую сторону крышки измерительного блока.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ 14014-91 Приборы и преобразователи измерительные цифровые напряжения, тока, сопротивления. Общие технические требования и методы испытаний;
ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
Технические условия ИПЛГ.411721.001 ТУ.
35567-17: Методика поверки 18-18/015 МПСкачать4.7 Мб