Назначение
Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов ВИК-УЭС (далее - измерители ВИК-УЭС) предназначены для измерений удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов четырехзондовым методом с линейным расположением зондов.
Описание
Принцип действия измерителей ВИК-УЭС основан на измерении разности потенциалов, возникающей между двумя зондами четырёхзондовой измерительной головки (устройства зондового), установленной на поверхности образца полупроводникового материала, при пропускании электрического тока определённой величины и переменной полярности через два других точечных зонда, расположенных на той же поверхности.
Удельное электрическое сопротивление вычисляется автоматически с помощью ПО, исходя из измеренных значений силы тока, напряжения и межзондового расстояния четырехзондовой головки с учетом поправочных коэффициентов на температуру и геометрические размеры исследуемого образца (диаметр и толщина). Для расчетов УЭС образца используют усредненное значение сопротивления образца при прямом и обратном токе.
Конструктивно измерители ВИК-УЭС состоят из:
- электронного блока;
- системного блока ПК с встроенным программным обеспечением (ПО);
- манипулятора с четырехзондовой измерительной головкой (устройства зондового). Электронный блок измерителей ВИК-УЭС обеспечивает автоматический выбор
величины силы тока в зависимости от номинала измеряемого сопротивления.
Четырёхзондовая измерительная головка имеет номинальные значения межзондовых расстояний 1,3 мм.
Пломбирование измерителей ВИК-УЭС не предусмотрено.
Металлический шильдик с указанием заводского номера крепится к задней стенке электронного блока.
Знак поверки наносится на заднюю стенку электронного блока.
Программное обеспечение
Измерители ВИК-УЭС оснащаются встроенным программным обеспечением.
ПО измерителей ВИК - УЭС позволяет проводить:
- автоматическую проверку работоспособности и настройку электрической части измерителей ВИК-УЭС;
- обработку результатов измерений УЭС образцов с учетом поправок на толщину и диаметр измеряемой пластины, а также на температуру измерения (поправки на температуру введены в ПО для монокристаллического кремния, при измерении других материалов результаты измерений УЭС будут относиться к температуре измерения);
- сбор результатов измерений УЭС для накопления статистической информации. Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения измерителей ВИК-УЭС приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения (ПО)
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | ПО измерителя удельного электросопротивления ВИК УЭС |
| Идентификационное наименование основного модуля интерфейса ПО | rometr.exe |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | не ниже 1.122 |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
| Идентификационное наименование модуля получения и обработки данных | C:\rometr\rodrv. dll |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | не ниже 1.122 |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Влияние ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик измерителей ВИК-УЭС.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений удельного электрического сопротивления, Омсм | от 0,01 до 85 000 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений УЭС, % | ±5 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Пределы допускаемого относительного отклонения расстояний между | ±1 |
| линейно расположенными зондами четырехзондовой головки от номи | |
| нальных значений (1,3 мм), % | |
| Средний срок службы, лет, не менее | 6 |
| Средняя наработка на отказ, ч, не менее | 10000 |
| Габаритные размеры (ВхШхД), мм, не более: | |
| - электронный блок | 150х300х600 |
| - системный блок ПК | 400х500х200 |
| - манипулятор | 400х200х200 |
| Масса, кг, не более: | |
| - электронный блок | 3 |
| - системный блок ПК | 5 |
| - манипулятор | 5 |
| Наименование характеристики | Значение |
| Параметры электрического питания: | |
| - напряжение сетевого питания, В | 220 ±22 |
| - частота питающей сети, Гц | 50±1 |
| Условия эксплуатации: | |
| - температура окружающего воздуха °С | 23±5 |
| - относительная влажность воздуха, %, не более | 80 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист «Паспорта» и «Руководства по эксплуатации» типографским способом или в виде наклейки.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность
| Наименование | Обозначение | Количе ство |
| Измеритель удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов: | ВИК-УЭС | |
| - электронный блок | - | 1 шт. |
| - системный блок ПК | - | 1 шт. |
| - манипулятор | - | 1 шт. |
| Паспорт | ПС26.51.45-001-80774784-2020 | 1 экз. |
| Руководство по эксплуатации | РЭ26.51.45-001-80774784-2020 | 1 экз. |
| Руководство пользователя ПО | РЭ.ПО.26.51.45-001-80774784-2020 | 1 экз. |
| Методика поверки | МП 14-223-2021 | 1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в п.2.3 Руководства по эксплуатации РЭ26.51.45-001-0774784-2020
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 30 декабря 2019 г. № 3456 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления постоянного и переменного тока»
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 29 декабря 2018 г. № 2840 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от Г10'9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
ТУ26.51.45-001-80774784-2020 «Измерители удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов ВИК-УЭС. Технические условия»
82668-21: Методика поверки МП 14-223-2021Скачать6.2 Мб