Назначение
Измерители рентгенофлуоресцентные FISCHERSCOPE X-RAY XDAL 237 (далее - измерители) предназначены для измерения поверхностной плотности и толщины покрытий, а также массовой доли элементов в покрытиях методом энергодисперсионной рентгеновской флуоресценции.
Описание
Принцип действия измерителей основан на облучении образца первичным рентгеновским излучением и регистрации детектором испускаемого рентгенофлуоресцентного излучения с характерным для конкретного материала распределением энергий.
Программное обеспечение WinFTM® обеспечивает управление прибором и анализ сигналов, поступающих с прибора. В программе реализован метод функциональных параметров, который позволяет проводить измерения многослойных и многокомпонентных покрытий.
Измерители позволяют измерять покрытия, содержащие элементы от алюминия (Z=13) до урана (Z=92). Для защиты от несанкционированного доступа измерители пломбируются разрушающейся пломбой.
Конструктивно измерители состоят из:
• микрофокусной рентгеновской трубки с бериллиевым окном;
• магазина из 4 сменных диафрагм;
• магазина из 3 сменных фильтров;
• детектора рентгеновского излучения на PIN-диоде с охлаждением при помощи элемента Пельтье;
• быстродействующей программируемой измерительной платформы с электроприводом;
• цветной видеокамеры высокого разрешения на ПЗС-матрице;
• персонального компьютера с платой расширения;
• программного обеспечения Fischer WinFTM®.
Программное обеспечение
Идентификационные данные программного обеспечения измерителей указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения измерителей
Идентификационные данные (признаки) | Значение |
Идентификационное наименование ПО | WinFTM |
Номер версии (идентификационный номер) ПО | 6.31 |
Цифровой идентификатор ПО | 9676724d1725edf48c9069edc53b9378 |
Алгоритм получения цифрового идентификатора | MD5 Hasher |
Защита программного обеспечения измерителей от непреднамеренных и преднамерен-
ных изменений соответствует уровню «Cредний» по Р.50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Диапазоны измерений массовой доли компонентов, толщины и поверхностной плотности покрытий
Измеряемая величина | Единица величины | Диапазон измерений |
Поверхностная плотность покрытия | г/м2 | от 1 до 200 |
Толщина покрытия | мкм | от 1 до 30 |
Массовая доля элементов в покрытии | % | от 1 до 100 |
Таблица 3 - Метрологические и технические характеристики измерителей
Наименование характеристики | Обозначение |
Пределы допускаемой относительной погрешности при измерении поверхностной плотности покрытия, % | ±(5-0,015р) р — значение поверхностной плотности покрытия в г/м2 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности при измерении толщины покрытия, мкм | ±(0,2+0,05h) h - значение толщины покрытия в мкм |
Предел допускаемого среднего квадратического отклонения случайной составляющей относительной погрешности результатов измерения массовой доли элементов в покрытии, % | 1,0 |
Наименование характеристики | Обозначение |
Напряжение питания, В | 230 |
Частота питающей сети переменного тока, Гц | 50/60 |
Мощность, потребляемая от сети, кВ А, не более | 3,5 |
Габаритные размеры, мм, не более | 570х760х650 |
Внутренние габариты измерительной камеры, мм, не более | 460х495х146 |
Масса, кг, не более | 120 |
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °С - относительная влажность окружающего воздуха, %, не более | от 10 до 40 95 |
Средняя наработка на отказ, ч, не менее | 20000 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства оператора типографским способом.
Комплектность
Таблица 4_
Наименование | Обозначение | Количество |
Измеритель рентгенофлуоресцентный | FISCHERSCOPE X-RAY XDAL 237 | 1 |
Персональный компьютер с платой расширения | - | 1 |
Предустановленное программное обеспечение | WinFTM | 1 |
Комплект образцов чистых металлов для настройки | CAL-SS | 1 |
Руководство оператора | 952-577 | 1 |
Методика поверки | МП 77-221-2015 | 1 |
Поверка
осуществляется по документу МП 77-221-2015 «ГСИ. Измерители рентгенофлуоресцентные FISCHERSCOPE X-RAY XDAL 237. Методика поверки», утвержденному ФГУП «УНИИМ»
26.02.2016 г.
Основные средства поверки:
- ГСО 9379-2009 СО поверхностной плотности и толщины никелевого покрытия на дюралюминии (комплект ППТ-1-Н), поверхностная плотность покрытия (5,27-920) г/м2, границы значений относительной погрешности ±2,5 %;
- ГСО 9936-2011 СО состава, поверхностной плотности и толщины нанопокрытия пермаллой на кремнии (НПК-40 СО УНИИМ), толщина покрытия (37,5±0,19) нм;
- ГСО 9937-2011 СО состава, поверхностной плотности и толщины нанопокрытия пермаллой на кремнии (НПК-100 СО УНИИМ), толщина покрытия (99,2±1,0) нм;
- Г осударственный эталон единицы длины 2 разряда в диапазоне измерения толщины покрытий № 3.1.ZZC.0163.2015, диапазон (0,8-101) мкм.
Сведения о методах измерений
Методика измерений входит в состав руководства оператора FISCHERSCOPE X-RAY XDAL 237.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к измерителям рентгенофлуоресцентным FISCHERSCOPE X-RAY XDAL 237
ГОСТ Р 8.612-2011 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений поверхностной плотности покрытий в диапазоне от 0,0001 до 1,000 кг/м2;
Р 50.2.006-2001 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений толщины покрытий в диапазоне от 1 до 20000 мкм.