Назначение
Измеритель поверхностного сопротивления автоматический модели VP10 (далее -измеритель) предназначен для измерения на постоянном токе сопротивления тонких диэлектрических, проводящих и полупроводящих слоев, формируемых в процессе производства интегральных схем.
Применяется в электронной промышленности при производстве полупроводниковых структур.
Описание
Измеритель представляет собой автономный измерительный комплекс, состоящий из двух функциональных блоков: аналогового и цифрового. Аналоговый блок содержит зондовую головку, источник постоянного напряжения, генератор токов, вольтметр, соединительные и защитные реле. Цифровой блок содержит цифровые счетчики, тепловой принтер, ЖК-дисплей и интерфейс, управляемые микропроцессором. В основу работы измерителя положен четырехзондовый метод измерения поверхностного сопротивления. Зондовая головка предназначена для жесткой фиксации зондов и расстояний между ними. Она закреплена на кронштейне, который выдвигается в позицию измерения или позицию загрузки измеряемой пластины. Последняя укладывается на столик, который может вращаться и передвигаться вертикально. В центре столика для фиксации положения сделано отверстие, в котором создается вакуум порядка 40 кПа. Одновременно для прижатия зондов к пластине в кронштейн подается сжатый воздух под давлением 0,3 -0,6 МПа. Чтобы избежать влияния контурных сопротивлений зондов, в программе работы измерителя предусматривается автоматическое переключение токовых и потенциальных зондов и изменение полярности токов. Измеритель выполнен в виде настольного прибора, на передней панели которого расположены клавиши оператора и ЖК-дисплей, 4 строки по 40 символов в каждой.
Технические характеристики
| Наименование технической характеристики | Значение характеристики |
| Диапазон измерений поверхностного сопротивления, Омща квадрат поверхности | 510 3 - 5106 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности, % | ±1 |
| Нормальные условия применения: диапазон температуры окружающего воздуха, °C относительная влажность воздуха не более, % атмосферное давление, кПа | 20±5 80 84-106 |
| Потребляемая мощность, не более, В А | 75 |
| Средний срок службы, лет | 8 |
| Г абариты прибора (высотахширинахглубина), мм: | 280x460x640 |
| Масса прибора, кг | 38,7 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на боковую поверхность укладочного ящика и на титульный лист эксплуатационных документов печатным или фотоспособом.
Комплектность
Измеритель 1 шт.
Кабель силовой 1 шт.
| Руководство по эксплуатации (на русском и английском) Методика поверки МП2202-0037-2008 | по 1 экз. 1 экз. |
Поверка
Поверка проводится в соответствии с документом МП2202-0037-2008 «Измеритель поверхностного сопротивления автоматический модели VP10. Методика поверки», утвержденным ГЦИСИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» в мае 2009 г.
Основное средство поверки:
Мультиметр 34401 А, используемый диапазон измерений 1Ом-100 кОм, погрешность ± (0,05 - 0,01) %.
Межповерочный интервал - 2 года.
Нормативные документы
ГОСТ 8.028-86. ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений электрического сопротивления.
ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
Техническая документация компании «Prometrix Corporation», США.
Заключение
Тип «Измеритель поверхностного сопротивления автоматический модели VP10, заводской номер 909V1» утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при ввозе в РФ и эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.
