Назначение
Измеритель количества частиц в деионизованной воде KS-16, (далее по тексту -прибор) предназначен для измерения счетной концентрации взвешенных в деионизованной воде частиц.
Область применения - контроль степени загрязнения технологической воды на объектах сферы обороны и безопасности при производстве продукции микроэлектроники в составе изделия 1X1 НИИСИ РАН.
Описание
Принцип действия прибора основан на измерении интенсивности рассеянного под углом 90 0 оптического излучения, возникающего при рассеянии монохроматической электромагнитной волны на частицах в жидкости.
Прибор выполнен настольным и состоящим из двух конструктивных частей: датчика и пробоотборника. Датчик включает в себя измерительный блок с оптической системой и электрическое устройство преобразования оптического сигнала в напряжение с последующим формированием сигналов выхода датчика в цифровом коде. Пробоотборник обеспечивает прокачку жидкости через проточную ячейку измерительного блока.
Технические характеристики
Диаметры частиц в воде, регистрируемых в каналах, мкм; в канале 1 * в канале 2 *
0,1 и выше;
0,15 и выше;
в канале 3
в канале 4
в канале 5
0,2 и выше;
0,3 и выше;
0,5 и выше.
Примечание: * для каналов 1 и 2 погрешность измерений счетной концентрации аэрозольных частиц не нормируется.
Диапазон измерений счетной концентрации частиц в воде размером 0,2 мкм и выше,
частиц/мл
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений
от 1 до 1,2x103.
счетной концентрации частиц, частиц/мл
Скорость прокачки жидкости, мл/мин
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений
скорости прокачки жидкости, %
Напряжение питания сети переменного тока частотой (50 ± 0,5) Гц, В 220 ± 22.
Потребляемая мощность, ВА, не более
Габаритные размеры прибора (длина х ширина х высота), мм, не более 248x124x188.
Масса, кг, не более
Рабочие условия эксплуатации:
- температура окружающего воздуха, °C от 7 до 45;
- относительная влажность окружающего воздуха при 25 °C , % от 30 до 95;
- атмосферное давление, кПа (мм.рт.ст.) от 84 до 106,7 (630 800);
- температура анализируемой жидкости, °C от 15 до 35;
- давление анализируемой жидкости, кПа от 0 до 400.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа средства измерений наносится на титульный лист технической документации фирмы-изготовителя компьютерным методом
Комплектность
В комплект поставки входят: измеритель количества частиц в деионизованной воде KS-16, зав. № 00520173, техническая документация фирмы-изготовителя, методика поверки.
Поверка
Поверка прибора проводится в соответствии с документом «Измеритель количества частиц в деионизованной воде KS-16. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ «Воен-тест» 32 ГНИИИ МО РФ в сентябре 2005 г. и входящим в комплект поставки.
Средства поверки: Государственный первичный эталон дисперсных параметров аэрозолей, взвесей и порошкообразных материалов ГЭТ 163 - 2003 (ФГУП «ВНИИФТРИ»), три различных образца латексов в воде фирмы Duke Scientific Со в диапазоне 0,2 - 0,5 мкм, колба тонкостенная вместимостью 100 -г- 150 мл по ГОСТ 1770 - 74, секундомер механический СОПпр - 2а - 2 - 010.
Межповерочный интервал - 1 год.
Нормативные документы
ГОСТ 22261-94 « Средства измерений электрических и магнитных величин. - Общие технические условия».
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Заключение
Тип измерителя количества частиц в деионизованной воде KS-16 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.