Назначение
Измеритель количества частиц на поверхностях QIII модели DE 3496 SPD (далее -измеритель) предназначен для измерения счетной концентрации количества твердых частиц на поверхностях.
Применяется для контроля запыленности поверхностей в чистых зонах и помещениях на объектах сферы обороны и безопасности при производстве продукции микроэлектроники в составе изделия 1X1 НИИСИ РАН.
Описание
Измеритель - переносной прибор, в состав которого входят воздушно-вакуумный насос, выносное устройство пробоотбора, электронный блок и измерительная камера с твердотельным лазером в качестве источника света и световым датчиком.
Принцип действия измерителя основан на фотоэлектрическом методе регистрации аэрозольных частиц. Потоком воздуха под действием насоса, установленного в приборе и соединенного шлангом с устройством пробоотбора, твердые частицы сдуваются с контролируемой поверхности и доставляются в измерительную камеру. Пролетая через освещенный рабочий измерительный объем твердые частицы рассеивают свет. Рассеянный свет фокусируется на фотодиоде, где преобразуется в электрические импульсы с амплитудой, пропорциональной размеру частицы. Электрические импульсы считываются и анализируются с помощью микропроцессорного устройства. Результаты измерений отображаются в виде цифровой информации на жидкокристаллическом дисплее, а также могут архивироваться, просматриваться на ПЭВМ через последовательный интерфейс RS-232 и выводиться на принтер. Измеритель имеет пять каналов измерений в зависимости от размера регистрируемых частиц. Измерения проводятся одновременно по всем каналам. Прибор работает в ручном режиме.
Технические характеристики
| Диаметры частиц, регистрируемых в каналах, мкм; в канале 1 в канале 2 в канале 3 в канале 4 в канале 5 Диапазон измерений счетной концентрации частиц, частиц/дм3 Пределы допускаемой относительной погрешности измерения счетной концентрации частиц, % Расход воздуха, дм3/мин Время отбора пробы, с Рабочие условия применения: | 0,3 и выше; 0,5 и выше; 1,0 и выше; 5,0 и выше; 10,0 и выше. 1 ... 2- 103. ± 15. от 25,3 до 31,3. 1, 3, 6. |
| диапазон температур окружающего воздуха, °C относительная влажность окружающего воздуха без конденсата, % атмосферное давление, кПа Напряжение питания сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В Потребляемая мощность, ВА, не более Габаритные размеры, мм,: | от 15 ... до 35; 20 ... 95; 84 ... 106,7. 220 ± 22. 120. |
| длина ширина высота Масса, кг | 395; 191; 319. 14,0. |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа средства измерений наносится на титульный лист технической документации фирмы-изготовителя компьютерным методом.
Комплектность
| № пп. | Наименование | Кол-во |
| 1. | Измеритель количества частиц на поверхностях QIII модели DE 3496 SPD | 1 шт. |
| 2. | Выносное устройство пробоотбора | 1 шт. |
| 3. | Кабель сетевой | 1 шт. |
| 4. | Техническая документация фирмы-изготовителя | 1 экз. |
| 5. | Методика поверки | 1 экз. |
Поверка
Поверка проводится в соответствии с документом «Измеритель количества частиц на поверхностях QIII модели DE 3496 SPD. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ «Воентест» 32 ГНИИИ МО РФ в сентябре 2005 г. и входящим в комплект поставки.
Основное поверочное оборудование: рабочий эталон счетной концентрации аэрозольных частиц № 001-05-07 (ФГУП «ВНИИФТРИ»); монодисперсный латекс М ОМИКС (ГСО 6015-91...6038-91).
Межповерочный интервал - 1 год.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Заключение
Тип измерителя количества частиц на поверхностях QIII модели DE 3496 SPD утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.
