Интерферометры OptoTL-250

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок 10
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Найдено поверителей 2

Назначение

Интерферометры OptoTL-250 (далее - интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.

Описание

Интерферометры построены по вертикальной схеме двухлучевого интерферометра Физо. В качестве источника света в них используется гелий-неоновый лазер с длиной волны 633 нм. Оптический расширитель преобразует лазерное излучение в параллельный пучок диаметром 250 мм. После расширителя установлена насадка с плоской клиновидной пластиной, последняя поверхность которой является эталонной плоскостью.

Контролируемую деталь устанавливают на юстировочный столик, при этом контролируемая поверхность относительно эталонной устанавливаются таким образом, чтобы обеспечивался автоколлимационный ход лучей в интерферометре.

Пучок лазерного излучения с помощью контролируемой пластины пространственно разделяется на два когерентных пучка, которые интерферируют между собой. Первый пучок образуется после отражения от эталонной поверхности, второй - после прохождения через контролируемую пластину.

В результате интерференции в плоскости приемника создается интерференционная картина в виде полос.

Контроль формы поверхностей основан на анализе интерференционной картины, Анализ интерференционных картин осуществляется методом Фурье преобразования с помощью специального программного обеспечения с последующим определением параметров формы контролируемой поверхности.

Опломбирование корпуса интерферометра от несанкционированного доступа не предусмотрено.

Программное обеспечение

Интерферометры оснащены программным обеспечением (ПО) Fastlnterf версии v.1.43.0 Вычислительные алгоритмы Fastlnterf расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.

Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометров

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

FastInterf

Номер версии (идентификационный номер) ПО

v.1.43.0 и выше

Цифровой идентификатор ПО

72ADBB724304AE87D

27574DBBE1E1805

ПО является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.

Главной защитой ПО является наличие USB-ключа, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.

Защита ПО интерферометров соответствует уровню «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики интерферометров

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм

от 0,08 до 1,26

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм - на диаметре до 120 мм включ.

±0,06

- на диаметре св. 120 до 250 мм

±0,08

Диапазон измеряемых диаметров, мм

от 25 до 250

Класс лазера по ГОСТ 31581-2012

Длина волны лазера, нм, не более

633

Мощность, мВт, не более

4

Допустимое значение частоты возмущающих гармонических вибраций, Гц, не более

30

Параметры электропитания Напряжение переменного тока, В

от 200 до 240

Частота, Гц

от 49 до 51

Масса, кг, не более

200

Габаритные размеры, мм, не более - длина

790

- ширина

590

- высота

1020

Условия эксплуатации

- температура окружающей среды, °С

от +20 до +24

- относительная влажность, %

от 50 до 80

Наименование

Кол-во

Интерферометр

1 шт.

Компьютер с ПО

1 шт.

USB-ключ

1 шт.

Руководство по эксплуатации

1 экз.

Методика поверки

1 экз.

Поверка

осуществляется в соответствии с документом МП 65127-16 «Интерферометры OptoTL-250. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» в апреле 2016 г.

Основное средство поверки: меры отклонений от плоскостности, рег. № 48279-11.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

Сведения о методах измерений

Сведения о методе измерений содержатся в документе «Интерферометры OptoTL-250. Руководство по эксплуатации».

Нормативные документы

Развернуть полное описание