Назначение
Интерферометры OptoTl 60/125 (далее - интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности и отклонений от сферичности поверхностей оптических деталей.
Описание
Принцип работы интерферометров основан на анализе деформации формы интерференционных полос возникающих в промежутке между эталонной поверхностью сравнения и поверхностью контролируемой детали в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометры построены по вертикальной схеме интерферометра Физо. В качестве источника света в них используется гелий-неоновый лазер с длиной волны 633 нм. Оптический расширитель преобразует лазерное излучение в параллельный пучок диаметром 60 мм. После расширителя в зависимости от измеряемой поверхности устанавливают плоские или сферические насадки, формирующие эталонный волновой фронт.
Контролируемую деталь устанавливают на юстировочный столик, при этом контролируемая поверхность относительно эталонной устанавливаются таким образом, чтобы обеспечивался автоколлимационный ход лучей в интерферометре.
В результате один волновой фронт - эталонный - формируется при прохождении через насадку. Другой - предметный - отражается и искажается поверхностью контролируемой детали. Он возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным. При этом образуется интерференционная картина.
Контроль формы поверхностей основан на анализе интерференционной картины методом Фурье преобразования с помощью специального программного обеспечения с последующим определением параметров формы контролируемой поверхности.
В зависимости от комплектации после расширителя может устанавливаться плоская в виде телескопической системы для измерений плоских поверхностей насадка или сферическая в виде объективов для измерений сферических поверхностей насадка.
Плоские насадки используют для измерений отклонений от плоскостности и изготавливают в виде телескопической системы. Плоские насадки в зависимости от диапазонов диаметров измеряемых плоских поверхностей изготавливают трех типов: OptoTl-60, OptoTl-120 и OptoTl-125 (таблица 3).
Сферические насадки используют для измерений отклонений от сферичности и изготавливают в виде объективов. Сферические насадки в зависимости от диапазонов диаметров и радиусов измеряемых выпуклых и вогнутых сферических поверхностей изготавливают четырех типов: OptoTl-60-1:0,67CX, OptoTl-60-1:0,8CX, OptoTl-60-1:1,2CX, OptoTl-60-1:1,8CX, OptoTL-60-1:0,6CX, OptoTL-60/125-1:0,65CX и OptoTL-60/125-1:0,95CX (таблица 3).
Пломбирование интерферометров не предусмотрено.
Рисунок 1 - Общий вид интерферометров
Программное обеспечение
Интерферометры оснащены программным обеспечением (ПО) Fastlnterf версии v.1.43.0 Вычислительные алгоритмы Fastlnterf расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометров
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | FastInterf |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | v.1.43.0 и выше |
| Цифровой идентификатор ПО | 72ADBB724304AE87D 27574DBBE1E1805 |
ПО является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Главной защитой ПО является наличие USB-ключа, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Защита ПО интерферометров соответствует уровню «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Основные метрологические характеристики интерферометров
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм | от 0,08 до 1,26 |
| Диапазон измерений отклонений от сферичности выпуклых и вогнутых поверхностей, мкм | от 0,08 до 1,26 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм | ±0,04 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от сферичности выпуклых и вогнутых поверхностей, мкм | ±0,06 |
Таблица 3 - Технические характеристики интерферометров
| Наименование характеристики | Модификация |
| OptoTl -60 | OptoTl -120 | OptoTl- 125 | OptoTl- 60- 1:0,67CX | OptoTl- 60- 1:0,8CX | OptoTl- 60- 1:1,2CX | OptoTl- 60- 1:1,8CX | OptoTL -60- 1:0,6CX | OptoTL- 60/125- 1:0,65CX | OptoTL- 60/125- 1:0,95CX |
| Диапазон диаметров измеряемых плоских поверхностей, мм | от 5 до 60 | от 5 до 120 | от 5 до 125 | - | - | - | - | - | - | - |
| Диапазон диаметров измеряемых выпуклых сферических поверхностей, мм | - | - | - | от 5 до 21 | от 38 до 200 | от 38 до 69 | от 70 до 109 | от 5 до 33 | от 5 до 64 | от 5 до 93 |
| Диапазон радиусов измеряемых выпуклых сферических поверхностей, мм | - | - | - | от 350 до 3 | от 350 до 3 | от 350 до 3 | от 350 до 3 | от 3 до 20 | от 3 до 43 | от 13 до 89 |
| Диапазон диаметров измеряемых вогнутых сферических поверхностей, мм | - | - | - | от 5 до 21 | от 38 до 200 | - | - | от 3 до 490 | от 3 до 335 | от 3 до 155 |
| Диапазон радиусов измеряемых вогнутых сферических поверхностей, мм | - | - | - | от 3 до 350 | от 3 до 350 | - | - | от 3 до 300 | от 3 до 220 | от 5 до 150 |
| Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 Длина волны лазера, нм, не более Мощность, мВт, не более | 3А 633 4 |
| Допустимое значение частоты возмущающих гармонических вибраций, Гц, не более | 30 |
| Параметры электропитания Напряжение переменного тока, В Частота, Гц | от 200 до 240 от 49 до 51 |
| Масса, кг, не более | 200 |
| Габаритные размеры, мм, не более - длина - ширина - высота | 790 590 1020 |
| Условия эксплуатации - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, % | от +20 до +24 от 50 до 80 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Интерферометр | OptoTl 60/125 | 1 шт. |
| Насадка | | от 1 до 6 шт. |
| Компьютер с ПО | | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | | 1 экз. |
| Методика поверки | МП № 203-42-2020 | 1 экз. |
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП № 203-42-2020 «ГСИ. Интерферометры OptoTl 60/125. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» 18 августа 2020 г. Основные средства поверки:
- меры отклонений от плоскостности, рег. № 48279-11;
- мера сферическая CaliBall, рег. № 77937-20.
Допускается применение аналогичных средств поверки не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение метрологических характеристик средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей, утвержденная приказом Росстандарта № 2819 от 25 ноября 2019 г.
80890-20: Методика поверки МП №203-42-2020Скачать3.7 Мб
