Интерферометры лазерные ФТИ

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок 6
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Найдено поверителей 2

Назначение

Интерферометры лазерные ФТИ (далее интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.

Описание

Измерение отклонений от плоскостности оптических поверхностей основано на анализе деформации формы интерференционных полос возникающих в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.

Интерферометр состоит из следующих основных блоков: оптико-механического блока, блока байонетного крепления эталонной пластины и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограм. Опционально интерферометр может оснащаться блоком фазового сдвига с пъезоприводом.

В качестве источника света в интерферометре используется He-Ne лазер с длиной волны 632 нм. Оптико-механический блок преобразует лазерное излучение и формирует плоский волновой фронт. Далее волновой фронт с помощью эталонной пластины, закрепленной в байонетном креплении, делится на два. Один волновой фронт - опорный - отражается от поверхности эталонной пластины непосредственно назад в интерферометр. Другой - рабочий волновой фронт - проходит эталон и искажается контролируемой деталью. Он также возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным. Анализ получаемой интерференционной картины дает информацию об отклонениях от плоскостности измеряемой оптической поверхности.

Интерферометры изготовлены одной модификации: ФТИ-100 (таблица 2).

Внешний вид интерферометров приведен на рисунке 1.

Пломбирование интерферометров лазерных ФТИ от несанкционированного доступа не предусмотрено.

Рисунок 1 - Внешний вид интерферометров лазерных ФТИ-100

Программное обеспечение

Интерферометры оснащены программным обеспечением (ПО) DiOpto. Програмное обеспечение позволяет вычислять отклонения формы контролируемой поверхности от эталонной плоскости спектральным методом (SM) и методом фазового сдвига (PS).

Вычислительные алгоритмы ПО расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.

Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометров

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

DiOpto

Номер версии (идентификационный номер) ПО

v.3.13 и выше

Цифровой идентификатор ПО

-

Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.

Для защиты ПО от несанкционированного доступа используют USB-ключ.

Защита программного обеспечения интерферометров соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики интерферометров

Модификация

ФТИ-100

Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм

от 0,03 до 2,00

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм

±0,025

Повторяемость измерений, не более, мкм

0,008

Модификация

ФТИ-100

Максимальный диаметр измеряемых оптических поверхностей, мм

100

Класс лазера по ГОСТ 31581-2012

Длина волны лазера, не более, нм

- He-Ne лазер

633

Мощность, не более, мВт

4

Допустимое значение частоты возмущающих гармонических

вибраций, не более, Гц

30

Параметры электропитания

Напряжение переменного тока, В

от 200 до 240

Частота, Гц

от 49 до 51

Масса, не более, кг

18

Габаритные размеры, не более, мм

- длина

270

- ширина

205

- высота

500

Условия эксплуатации

- температура окружающей среды, °С

От +18 до +22

- относительная влажность, %

От 50 до 90

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом Комплектность средства измерений

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

Наименование

Обозначение

Количество

Интерферометр лазерный

ФТИ-100

5 шт.

Компьютер с ПО

1 шт.

Паспорт

5 шт.

Методика поверки

МП № 203-7-2019

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП № 203-7-2019 «ГСИ. Интерферометры лазерные ФТИ. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» 26 марта 2019 г.

Основное средство поверки:

- мера отклонений от плоскостности 0 120 мм, рег. № 48279-11.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационных документах.

Нормативные документы, устанавливающие требования к интерферометрам лазерным ФТИ

ГОСТ 8.661-2018 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонения от плоскостности оптических поверхностей размером до 200 мм

Развернуть полное описание