Назначение
Интерферометр OWI 300 Plan (далее - интерферометр) предназначен для измерений отклонений от плоскостности прецизионных поверхностей оптических деталей.
Описание
Измерение отклонений от плоскостности оптических поверхностей основано на анализе деформации формы интерференционных полос, возникающих в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометр состоит из следующих основных блоков: оптико-механического блока, блока байонетного крепления эталонной пластины и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограм.
В качестве источника света в интерферометре используется He-Ne лазер. Оптикомеханический блок преобразует лазерное излучение и формирует плоский волновой фронт. Далее волновой фронт с помощью эталонной пластины, закрепленной в приборе делится на два. Один волновой фронт - опорный - отражается от поверхности эталонной пластины непосредственно назад в интерферометр. Другой - рабочий волновой фронт - проходит эталон и искажается поверхностью контролируемой детали. Он также возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным. Анализ получаемой интерференционной картины дает информацию об отклонениях от плоскостности измеряемой оптической поверхности.
Внешний вид интерферометра приведен на рисунке 2.
Нанесение знака поверки на интерферометр не предусмотрено. Заводской номер нанесен на заднюю часть корпуса интерферометра в виде таблички и имеет цифровое обозначение (рисунок 1).
Пломбирование интерферометра OWI 300 Plan от несанкционированного доступа не предусмотрено.
К интерферометру, относящемуся к данному типу средств измерений, относится интерферометр OWI 300 Plan зав. № 552.002.
Рисунок 1- Внешний вид таблички
Рисунок 2 - Внешний вид интерферометра OWI 300 Plan
Программное обеспечение
Интерферометр OWI 300 Plan имеют в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.
Программное обеспечение является специализированным ПО интерферометра и предназначено для его управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО не может быть использовано отдельно от интерферометра.
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО интерферометра и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Главной защитой ПО является USB-ключ.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | liShape OWI |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 7.2.0.2 и выше |
| Цифровой идентификатор ПО | |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм | От 0,04 до 1,00* |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм | ±0,05* |
| * - нормируется на диаметре измерений 280 мм |
Таблица 3 - Технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Максимальный диаметр измеряемых плоских поверхностей, мм | 300 |
| Длина волны He-Ne лазера, нм | |
| - He-Ne лазер | 632 |
| Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 | 3В |
| Масса, кг, не более | 1500 |
| Габаритные размеры, мм, не более | |
| - длина | 1200 |
| - ширина | 2300 |
| - высота | 2300 |
Таблица 4 - Условия эксплуатации
| Температура окружающей среды, °C | от +18 до +28 |
| Относительная влажность воздуха, %, не более | 80 |
| Напряжение переменного тока, В | 220±10 |
| Частота, Гц | 50/60 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 5 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Интерферометр | OWI 300 Plan | 1 шт. |
| Компьютер с ПО | - | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в разделе 6 «Работы с интерферометром OWI 300 PLAN», руководства по эксплуатации.
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 15 декабря 2022 г. № 3189 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей».
