Генераторы-анализаторы цифровых сигналов с параметрическим измерителем модульные M9195B

Назначение

Генераторы-анализаторы цифровых сигналов с параметрическим измерителем модульные M9195B (далее - модули) предназначены для генерации, анализа и измерения параметров сигналов в системах тестирования полупроводниковых приборов.

Описание

Модули представляют собой 16-ти канальные устройства, в каждом из каналов которых имеются:

-    генератор тестовой последовательности;

-    драйвер напряжения;

-    компаратор (логический анализатор) напряжения;

-    активная нагрузка;

-    параметрический измеритель напряжения и силы тока (PPMU).

Формирование испытательных сигналов производится генератором тестовой последовательности в соответствии с заданной конфигурацией, параметрами статического и динамического режимов (частота, амплитуда, положения фронта и спада импульсов).

Драйвер предназначен для подачи напряжения (уровни «высокий», «низкий») на исследуемый объект. На 4-х каналах имеется формирователь повышенного напряжения.

Компаратор осуществляет логический анализ входных сигналов от объекта по задаваемым порогам срабатывания напряжения («высокий», «низкий»).

Активная нагрузка позволяет при установленном значении напряжения поддерживать на заданном уровне силу тока на исследуемом объекте.

Параметрический измеритель напряжения и силы тока (PPMU) предназначен для измерения вольт-амперных характеристик объекта в режимах источника напряжения и тока, а также в качестве электронной нагрузки со стабилизацией значений напряжения или силы тока. Управление модулями осуществляется по шине PXI Express (PXIe).

Конструктивно модули выполнены в виде сборки печатных плат в корпусе, имеющем лицевую панель с разъемом для присоединения сигнальных кабелей, и заднюю панель с разъемом для присоединения к шине PXI Express. Модули устанавливаются в шасси PXI Express. На панелях модулей отсутствуют элементы регулировки и подстройки, доступные пользователю, специальных мер защиты от несанкционированного доступа не требуется. Общий вид модулей показан на рисунке 1.

Программное обеспечение

Программное обеспечение (драйвер) служит для управления режимами измерений, задания параметров и функций представления измерительной информации. Драйвер устанавливается на внешний контроллер с шиной PXIe в базовом блоке (шасси).

Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений «низкий» по Р 50.2.077-2014 (класс риска “B” по WELMEC 7.2).

Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики представлены в таблицах 2 и 3.

Таблица 2 - Метрологические характеристики

ТУ

Время нарастания/спада импульсов напряжения, нс, не более

от 0,45 до 1,2

±25

Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки уровней постоянного напряжения, мВ_

2)

ДРАЙВЕР повышенного напряжения

Программируемые уровни напряжения: «высокий» (Vih), «низкий» (Vil)

Диапазон уровней постоянного напряжения, В

от 0 до +13,5

Разрешение по напряжению, мкВ

305

Выходное сопротивление, Ом

50

Диапазон силы постоянного тока в нагрузке, мА

±60

Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки уровней постоянного напряжения, мВ_

1)

±40

_КОМПАРАТОР (ЛОГИЧЕСКИЙ АНАЛИЗАТОР) НАПРЯЖЕНИЯ

Программируемые уровни порогов срабатывания: «высокий» (Voh), «низкий» (Vol)

Диапазон установки порогов срабатывания по напряжению, В

от -1,5 до +6,5

Разрешение по напряжению, мкВ

152

Пределы допускаемой абсолютной погрешности порогов срабатывания по напряжению, мВ_

±20

АКТИВНАЯ НАГРУЗКА

Диапазон стабилизации силы постоянного тока, мА

от 0 до 25

Разрешение по силе постоянного тока, нА

762

Пределы допускаемой абсолютной погрешности стабилизации силы постоянного тока, мА

1)

±0,4

Диапазон стабилизации напряжения, В

от -1,5 до +6,5

152

Разрешение по постоянному напряжению, мкВ

Пределы допускаемой абсолютной погрешности стабилизации постоянного напряжения, мВ_

1)

±25

ПАРАМЕТРИЧЕСКИЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ (PPMU)

Диапазон установки и измерения постоянного напряжения, В от -2 до +6,5

Разрешение установки постоянного напряжения, мкВ

152

Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки и измерения постоянного напряжения, мВ_

±10

Верхние пределы диапазонов DI, разрешение RI и пределы допускаемой относительной погрешности 5I установки и измерения силы постоянного тока PPMU

1)    типовое справочное значение

2)    конфигурируются 4 из 16 каналов

Знак утверждения типа

наносится на боковую панель корпуса модулей в виде наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.

Комплектность

представлена в таблице 4.

Таблица 4 - Комплектность модулей

Поверка

осуществляется по документу M9195B/МП-2019 «ГСИ. Генераторы-анализаторы цифровых сигналов с параметрическим измерителем модульные M9195B. Методика поверки», утвержденному ЗАО «АКТИ-Мастер» 14.02.2019 г.

Основные средства поверки:

-    мультиметр Agilent 3458A, регистрационный номер № 25900-03;

-    калибратор универсальный Fluke 9100, регистрационный номер 25985-09.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение

метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

Знак поверки наносится боковую панель корпуса модулей в виде наклейки (место нанесения показано на рисунке 1) и/или на свидетельство о поверке.

Сведения о методах измерений

приведены в разделах документа «Г енераторы-анализаторы цифровых сигналов с параметрическим измерителем модульные M9195B. Руководство по эксплуатации».

Нормативные документы, устанавливающие требования к генераторам-анализаторам цифровых сигналов с параметрическим измерителем модульным M9195B

ГОСТ 8.027-2001. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы

ГОСТ 8.022-91. ГСИ. Государственный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1 • 10-16 + 30 А