Эллипсометр спектральный APECS 3000

Основные
Тип APECS 3000
Год регистрации 2009
Дата протокола 13д2 от 24.12.09 п.45
Класс СИ 37
Номер сертификата 38816
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Германия 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Эллипсометр спектральный модели APECS 3000 предназначен для автоматизированного контроля толщин технологических слоев в процессе производства, а также оптических параметров слоев, зависящих от толщины, таких, как коэффициенты отражения, поглощения, преломления.

Мощные возможности обработки и вычисления измеренных данных позволяют использовать эллипсометр спектральный модели APECS 3000 как в производстве на межоперационном контроле, так и для научно-исследовательских работ.

Эллипсометр спектральный модели APECS 3000 может применяться в полупроводниковом производстве, производстве головок магнитных дисков, интегральной оптики для проведения измерений параметров тонких пленок.

Описание

Эллипсометр спектральный модели APECS 3000 состоит из двух основных блоков: измерительного блока и транспортной системы. Измерительный блок включает в себя все оптические компоненты, такие как спектральный эллипсометр, систему автофокуса, систему видеофокуса и выравнивающую систему. Также он включает в себя рабочий столик, систему предварительной центровки пластин, пульт управления питанием, пульт управления оператора и шасси для всей электроники. Транспортная система состоит из двух лифтов для пластин и фильтр блока вентиляторов. В этой части эллипсометра спектрального модели APECS 3000 находятся места подключения к инженерным средам (питание, сжатый воздух, вакуум) и блок основного выключателя.

Оптическая система эллипсометра спектрального модели APECS 3000 состоит из двух основных частей: блока поляризатора (передающее устройство) и блока анализатора (принимающее устройство).

Блок поляризатора состоит из автоматизированного блока ламп, желтого светофильтра со шторкой, нейтрального светофильтра, диафрагмы, детектора интенсивности, поляризатора, фокусирующей оптики. Основная функция блока поляризатора состоит в генерации светового пучка с длиной волны в диапазоне от 320 нм до 800 нм с определенной поляризацией и интенсивностью. Пучок направлен на образец и сфокусирован в области 50 х 50 мкм. Источник света выполнен в виде автоматизированного блока смены ламп, содержащего 6 ксеноновых ламп с суммарным временем жизни около одного года. Новые лампы автоматически юстируются для правильной фокусировки. Перегоревшие лампы могут быть удалены в любое удобное время.

Блок анализатора предназначен для приема отраженного излучения и обработки его эллипсометрических характеристик. Блок анализатора включает оптические компоненты, фазовую пластинку, вращающийся анализатор, спектрометр, приемник излучения.

Технические характеристики

Диапазоны измерения величины эллипсометрических углов:

- пси, градус - дельта, градус

0-90 0-360

Диапазон измерения толщин, мкм

0,0001 - 5

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения:

Величин

эллипсометрических углов:

Пси, градус

Дельта, градус

Толщины пленки, А

1,0

1,6 5

Спектральный диапазон, нм

320 - 800

Условия эксплуатации: температура окружающего воздуха, °C

относительная влажность, %

18- 25

не более

75

Габаритные размеры, мм

2380x1257x1900

Масса, кг

1200

Электропитание, В

115/230+10%

Частота сети, Гц

50/60

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации.

Комплектность

Эллипсометр спектрометрический модели APECS 3000         1 шт.

Поверка

Поверка эллипсометра спектрометрического модели APECS 3000 проводится в соответствии с методикой поверки (Приложение к Руководству по эксплуатации), утвержденной ГЦИ СИ «ВНИИОФИ» в октябре 2009 г.

Основные средства поверки: пластинки эллипсометрические.

Межповерочный интервал -1 год.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

Техническая документация фирмы "Leica Microsystems Wetzlar GmbH", Германия.

Заключение

Тип пластинки эллипсометрические модели APECS 3000 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при ввозе по импорту и в эксплуатации.

Развернуть полное описание