Назначение
Датчики вакуумные комбинированные VSM, модификаций VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E (далее датчики VSM), предназначены для измерений абсолютного давления негорючих газов.
Описание
Принцип действия датчиков вакуумных комбинированных VSM, модификаций VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E:
3 3
- в диапазоне измерений свыше 210 до 110 гПа, основан на изменении теплопроводности газа под воздействием измеряемого абсолютного давления, что приводит к изменению температуры нити накала, которая является плечом измерительной мостовой схемы теплового измерительного датчика сопротивления, входящего в состав датчика VSM. Изменение сопротивления этого плеча приводит к разбалансу моста, при этом возникает электрический сигнал, пропорциональный давлению;
9 3
- в диапазоне измерений от 5 10 до 2 10 гПа, заключается в ионизации газа с помощью тлеющего разряда Пеннинга, возникающего при приложении высокого напряжения между катодом и анодом в постоянном магнитном поле инверсно-магнетронного датчика с холодным катодом, входящего также в состав датчика VSM.
Конструктивно датчики VSM выполнены в виде единого корпуса, в котором расположены измерительный электронный блок и два измерительных датчика: тепловой измерительный датчик сопротивления и инверсно-магнетронный датчик с холодным катодом. Управление работой датчиков VSM осуществляется с помощью кнопок, расположенных на их верхней панели.
Датчики VSM могут обеспечивать отображение информации об измерениях на встроенном жидкокристаллическом дисплее.
С датчиками VSM могут применяться контроллеры VD10S8, VD12S2 и VD14S4. Управление работой в этом случае осуществляется с помощью контроллера.
На корпусе датчиков VSM установлены разъемы для вывода значений измеряемых параметров в цифровом (по интерфейсу RS485) виде или в аналоговом (0 - 10 В постоянного тока) виде (только для модификаций VSM77D, VSM77DL, VSM78D, VSM78DL, VSM79D, VSM79DL). Для модификаций VSM77E, VSM78E, VSM79E установлены разъемы для вывода значений измеряемых параметров в цифровом (по интерфейсу RS485 или EtherCAT) виде.
Датчики VSM предусматривают снятие показаний с помощью внешнего программного обеспечения VacuGraph, установленном на компьютере.
Датчики VSM выпускается в девяти модификациях: VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E.
Датчики VSM, модификаций VSM77D, VSM77DL, VSM78D, VSM78DL, VSM79D, VSM79DL, обеспечивают отображение информации при помощи контроллера VD10S8, VD12S2 или VD14S4, подключённого через разъём для вывода значений измеряемых параметров в цифровом (по интерфейсу RS485) виде, или через разъём для вывода значений измеряемых параметров в цифровом (по интерфейсу RS485) или аналоговом (0 - 10 В постоянного тока) виде.
Датчики VSM, модификаций VSM77DL, VSM78DL, VSM79DL, дополнительно обеспечивают отображение информации на встроенном жидкокристаллическом дисплее.
Датчики VSM, модификаций VSM77E, VSM78E, VSM79E, обеспечивают отображение информации при помощи контроллеров VD10S8, VD12S2 или VD14S4, подключаемых через разъём для вывода значений измеряемых параметров в цифровом (по интерфейсу RS485) виде, или через разъём для вывода значений измеряемых параметров в цифровом (по интерфейсу RS485 или Ether CAT).
Датчики VSM, модификаций VSM77D, VSM77DL, VSM77E, оснащены присоединительными фланцами ISO-KF DN25(KF25, NW25). Датчики VSM, модификаций VSM78D, VSM78DL, VSM78E, оснащены присоединительными фланцами ISO-KF DN40 (KF40, NW40). Датчики VSM, модификаций VSM79D, VSM79DL, VSM79E, оснащены присоединительными фланцами CF-F DN40 (CF 2.75”, CF40, CF35).
Общий вид датчиков VSM, модификаций VSM77D, VSM77DL, VSM78D, VSM78DL, VSM79D, VSM79DL, представлен на рисунке 1. Общий вид датчиков VSM, модификаций VSM77E, VSM78E, VSM79E, представлен на рисунке 2. Общий вид контроллеров VD10S8, VD12S2 и VD14S4 представлен на рисунках 3 и 4.
Рисунок 4 - Общий вид контроллеров VD12S2 и VD14S4
Пломбирование датчиков VSM не предусмотрено.
Программное обеспечение
Микропроцессорное программное обеспечение датчиков VSM встроенное, обеспечивает управление и диагностику, обработку сигналов и связь с внешними устройствами через аналоговый сигнал или интерфейс RS485.
Контроллеры датчиков VSM имеют встроенное программное обеспечение (ПО), разработанное изготовителем специально для решения задач управления работой. ПО выполняет следующие функции: выбор единицы измерений давления, прием, обработка и отображение измерительной информации, формирование выходных сигналов, передача данных, включение/выключение. С помощью ПО осуществляется автоматическая диагностика, вывод на экран контроллера сообщений об ошибках и передача данных на внешнее устройство.
Внешнее ПО Vacugraph выполняет следующие функции: снятие измерений с датчиков VSM, сохранение измерений в виде графиков, выбор единицы измерения, установка реле.
Идентификационные данные встроенного ПО датчиков VSM приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные встроенного программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) программного обеспечения | Значение |
| 1 | 2 |
| Идентификационное наименование программного обеспечения | VSM |
| Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения встроенного в датчик вакуумный комбинированный VSM | не ниже 0210 |
| Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) | CS (Checksum) - контрольная сумма, определяемая через протокол передачи данных |
| 1 | 2 |
| Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного (контрольная сумма) | CS=(Xвсех кодов, переведенных согласно ASCII) mod 64 +64 |
Уровень защиты программного обеспечения «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные внешнего ПО приведены в таблице 2.
Таблица 2 - Идентификационные данные внешнего программного обеспечения VacuGraph
| Идентификационное данные (признаки) программного обеспечения | Значение |
| Идентификационное наименование программного обеспечения | VacuGraph |
| Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения | Не ниже 11.0 |
| Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого (кода) | CS (Checksum) - контрольная сумма, определяемая через протокол передачи данных |
| Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного (контрольная сумма) | CS=(Xвсех кодов, переведенных согласно ASCII) mod 64+64 |
Технические характеристики
Таблица 3 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений давления, гПа (мбар) | от 5 10-9 до 1103 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, %: 9 7 в диапазоне от 5 10 до 110 гПа, включ. 7 3 в диапазоне св. 110 до 110 гПа | ±70 ±50 |
| Предельное допускаемое избыточное давление (перегрузка), гПа | 4000 |
Таблица 4 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| 1 | 2 |
| Напряжение питания постоянного тока, В | от 20 до 30 |
| Параметры электрического питания контроллеров: - напряжение переменного тока, В | от 95 до 265 |
| - частота переменного тока, Гц | от 50 до 60 |
| Потребляемая мощность, В А, не более: - датчика VSM | 5 |
| - контроллера VD10S8 | 45 |
| - контроллера VD12S2 | 25 |
| - контроллера VD14S4 | 45 |
| Габаритные размеры, мм, не более: - датчиков (диаметрхвысота) модификаций: - VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D,VSM78DL, VSM78E | 70x140 |
| - VSM79D, VSM79DL,VSM79E | 70x155 |
| 1 | 2 |
| - контроллеров (длинахширинахвысота) | |
| - VD10S8 | 180x110x130 |
| - VD12S2 | 180x75x130 |
| - VD14S4 | 180x75x130 |
| Масса, кг, не более | |
| - датчиков модификаций: | |
| - VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E | 0,60 |
| - VSM79D, VSM79DL, VSM79E | 0,90 |
| - контроллеров | |
| - VD10S8 | 1,10 |
| - VD12S2 | 0,75 |
| - VD14S4 | 0,75 |
| Условия эксплуатации: | |
| - температура окружающей среды, °С | от +5 до +60 |
| - относительная влажность, %, не более: | |
| - при температуре от +5 до +31 °С включ. | 80 |
| - при температуре св. +31 до +60 °С | 50 |
| - атмосферное давление, кПа | от 86 до 106 |
Знак утверждения типа
наносится типографским способом в верхнем правом углу титульного листа руководства по эксплуатации и с помощью наклейки на корпусе датчика VSM.
Комплектность
Таблица 5 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Датчик вакуумный комбинированный VSM (модификация по заказу) | VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E | 1 шт. |
| Контроллер | VD10S8, VD12S2, VD14S4 | по заказу |
| Кабель | - | по заказу |
| Программное обеспечение VacuGraph для ПК | - | по заказу |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
| Методика поверки | РТ-МП-6148-443-2020 | 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу РТ-МП-6148-443-2020 «ГСИ. Датчики вакуумные комбинированные VSM, модификаций VSM77D, VSM77DL, VSM77E, VSM78D, VSM78DL, VSM78E, VSM79D, VSM79DL, VSM79E. Методика поверки», утвержденному ФБУ «Ростест-Москва» 14.01.2020 г.
Основные средства поверки:
- установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда ВАТТ УВЭ-3 с диапазоном измерения абсолютного давления от 110-5 до 1103 Па, с допускаемой относительной погрешностью ±10 % в диапазоне от 110-2 до 1103 Па и ±15 % в диапазоне от 110-5 до 110-2 Па (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 53639-13);
- вакуумметр ионизационный образцовый 2-го разряда ВИО-1 с диапазоном измерений абсолютного давления от 7 • 10-9 до 1 • 10-1 Па, с допускаемой относительной погрешностью ±10 % в диапазоне от 1 • 10-7 до 1 • 10-1 Па и ±30 % в диапазоне от 7 -10-9 до 1,1-10-7 Па (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 9862-85);
- калибратор-контроллер давления PPC4-A100Ks с диапазоном измерения и воспроизведения абсолютного давления до 110 кПа, с допускаемой относительной погрешностью, с допускаемой относительной погрешностью ±0,01 % от диапазона, в режиме измерений давления и ±0,011 % от диапазона, в режиме воспроизведения давления (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 27758-08);
- мультиметр цифровой 34401А с диапазоном измерения напряжения постоянного тока до 10 В, с относительной погрешностью ±[0,0035 % от измеряемой величины + 0,0005 % от верхнего предела измерений] (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 54848-13);
- источник питания постоянного тока Б 5-93, с наибольшим значением напряжения 50 В и с пределами допускаемой погрешности по выходному напряжению: ±(0,001U+0,3) В, в диапазоне до 30 В и ±(0,001U+0,5) В, в диапазоне свыше 30 В (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 51394-12).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде оттиска поверительного клейма.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ 8.107-81 ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная общесоюзная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 110 ^ 1103 Па
Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 110-1 ^ 1107 Па, утверждена приказом Росстандарта РФ от 06.12.2019 г. № 2900; Техническая документация изготовителя Thyracont Vacuum Instruments GmbH
78823-20: Методика поверки РТ-МП-6148-443-2020Скачать2.6 Мб