Назначение
Датчик волнового фронта ШаГ-3000С (далее прибор) предназначен для измерений отклонений от плоскостности элементов оптических систем и отдельных плоских деталей методом анализа формы плоских волновых фронтов.
Описание
Работа приборов основана на принципе Шака-Гартмана.
Прибор состоит из волоконного источника света, блока датчика волнового фронта и компьютера с программным обеспечением (ПО).
Волоконный источник света предназначен для формирования плоского волнового фронта.
Блок датчика волнового фронта предназначен для анализа плоского волнового фронта и состоит из телескопа с матрицей микролинз и фотоприемника, расположенного в фокальной плоскости микролинз.
При измерении сформированный плоский волновой фронт проходит через контролируемую оптическую систему, или отражается от отдельного плоского элемента, попадает в приемную апертуру блока датчика волнового фронта и передается на матрицу микролинз.
Изображение, сформированное в фокальной плоскости микролинз, передается на матрицу фотоприемника, а затем в цифровом виде через соединительный кабель в персональный компьютер, где с помощью специального ПО измеряется отклонение формы волнового фронта, падающего на датчик оптического излучения, характеризующее отклонение от плоскостности.
Программное обеспечение
Приборы оснащены ПО «Shah».
Вычислительные алгоритмы ПО расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | Shah |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | v.10 и выше |
| Цифровой идентификатор ПО | Guard Stealth II |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Главной защитой ПО является наличие USB-ключа, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Защита программного обеспечения приборов соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики приборов
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм | от 0,08 до 1,26 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений * отклонений от плоскостности по параметру RMS , мкм | ± 0,03 |
| Пределы допускаемой случайной составляющей погрешности прибора, мкм | ± 0,001 |
| Диапазон размеров измеряемых плоских деталей, мм | от 30 до 50 |
| Допустимое значение частоты возмущающих гармонических вибраций, Гц, не более | 30 |
| Параметры электропитания Напряжение переменного тока, В Частота, Гц | от 200 до 220 от 50 до 60 |
| Масса, кг, не более | 6 |
| Габаритные размеры блока датчика волнового фронта, мм, не более - длина - ширина - высота | 110 175 235 |
| У словия эксплуатации - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, % | от +15 до +30 от 50 до 80 |
RMS - среднеквадратическое отклонение поверхности от средней плоскости, построенной по методу наименьших квадратов
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом. Комплектность средства измерений
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Кол-во |
| Блок датчика волнового фронта ШаГ-3000С | - | 1 шт. |
| Волоконный источник света | - | 1 шт. |
| Компьютер с ПО | - | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
| Методика поверки | № МП 203-23-2016 | 1 экз. |
осуществляется по документу МП 203-23-2016 «Датчик волнового фронта ШаГ-3000С. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» 07.11.2016 г.
Основное средство поверки:
- мера отклонений от плоскостности (Рег. № 48279-11).
Допускается применение аналогичных средств поверки не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение метрологических характеристик средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Техническая документация ООО «Визионика», г. Москва
66426-17: Методика поверки МП 203-23-2016Скачать2.1 Мб