Назначение
Анализаторы рентгенофлуоресцентные FT110A предназначены для измерений толщины однослойных, многослойных или сплавных покрытий, определения концентрации растворов, составов сплавов и анализа материалов методом энергодисперсионной рентгеновской флуоресценции.
Описание
Принцип действия анализаторов рентгенофлуоресцентных FT110A (далее - анализаторы) основан на облучении образца первичным рентгеновским излучением и регистрации детектором характеристического рентгенофлуоресцентного излучения. Первичное рентгеновское излучение создает рентгеновская трубка.
В состав анализатора входят энергодисперсионный флуоресцентный рентгеновский спектрометр (далее-спектрометр) и отдельно установленный компьютер.
Спектрометр состоит из следующих компонентов:
- рентгеновская трубка;
- пропорциональный детектор;
- коллимационная оптическая система;
- электронный блок;
- видеокамера;
- стационарный или моторизованный столик с автоматическим позиционированием измеряемого образца по трем осям Х-Y-Z и автофокусом.
Пропорциональный детектор преобразует энергию вторичного рентгенофлуоресцентного излучения в электрический сигнал, который преобразуется в аналого - цифровом преобразователе. Сигнал с преобразователя поступает на многоканальный анализатор, который регистрирует число импульсов в каждом канале. Программное обеспечение преобразует полученные данные в виде спектра и обрабатывает их.
Диапазон анализируемых элементов - от титана (22) до урана (92).
Анализаторы позволяют измерять толщину многослойных (до 5 слоев включая основание) покрытий.
Защита анализаторов от несанкционированного вскрытия обеспечивается с помощью специальных винтов, фиксирующих заднюю съемную панель.
Общий вид анализаторов с обозначением места нанесения знака поверки представлен на рисунке 1.
Программное обеспечение
Место нанесения знака поверки
Идентификационные данные программного обеспечения анализаторов представлены в таблице 1. Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения анализаторов
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | X-ray Station |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 11.05.6.0 |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики анализаторов
| Наименование характеристики | Значение |
| Анализируемые элементы | от Ti22 до U92 |
| Диапазон показаний массовой доли элементов в растворах, % | от 0 до 100 |
| Диапазон измерений массовой доли элементов в веществах и материалах, % | от 0,1 до 100 |
| Диапазон показаний толщины покрытия, мкм | от 0,01 до 120 |
| Диапазон измерений толщины покрытия, мкм | от 0,09 до 22 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений массовой доли элементов в веществах и материалах, %, в диапазонах: - от 0,1 до 4,0 % включ. | ±30 |
| - св. 4,0 до 40 % включ. | ±10 |
| - св. 40 до 100 % включ. | ±5 |
| Наименование характеристики | Значение |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений толщины однослойного покрытия, % | ±5 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений толщины многослойного покрытия, %: - для первого (нижнего) слоя - для второго слоя | ±20 |
| - для третьего слоя | ±15 |
| - для четвертого слоя | ±10 |
| | ±7 |
Таблица 3 - Технические характеристики анализаторов
| Наименование характеристики | Значение |
| Количество измеряемых слоев покрытия, включая основание | 5 |
| Параметры электрического питания: - напряжение питающей сети, В - диапазон частоты питающей сети, Гц | 220±10 от 50 до 60 |
| Потребляемая мощность, Вт, не более | 400 |
| Габаритные размеры, мм, не более: - длина - ширина - высота | 815 600 675 |
| Масса, кг, не более | 120 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °C - относительная влажность окружающего воздуха, % - атмосферное давление, кПа | от +10 до +35 от 20 до 80 от 94 до 106 |
| Средняя наработка на отказ, ч, не менее | 70 000 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом. Комплектность средства измерения
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Анализатор рентгенофлуоресцентный | FT110A | 1 шт. |
| Джойстик | - | 1 шт. * |
| Калибровочный образец | - | 1 шт. |
| Ключ для переключателя прибора | - | 2 шт. |
| Компьютер | - | 1 шт. * |
| CD-диск или USB накопитель с программным обеспечением | - | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
| Паспорт | - | 1 экз. |
| Методика поверки | МП 47-221-2018 | 1 экз. |
| * По требованию заказчика |
Поверка
осуществляется по документу МП 47-221-2018 «ГСИ. Анализаторы рентгенофлуоресцентные FT110A. Методика поверки», утвержденному ФГУП «УНИИМ» 21 сентября 2018 г.
Основные средства поверки:
- Государственный эталон единицы длины 2 разряда в диапазоне измерения толщины покрытий от 0,8 до 101 мкм в соответствии с Р 50.2.006-2001 (набор эталонных мер толщины покрытий МП на МО (никель на стали), рег. № 34825-07);
- ГСО 9937-2011 состава, поверхностной плотности и толщины нанопокрытия пермаллоя на кремнии (НИК-100 СО УНИИМ), толщина покрытия 99,2 нм, относительная погрешность ±1,0 % при Р=0,95;
- ГСО 11100-2018 поверхностной плотности и толщины никелевого покрытия на дюралюминии (набор СО УНИИМ ППТ-1-Н), толщина покрытия 20,0 мкм, относительная погрешность ±2,2 % при Р=0,95;
- ГСО 6319-92/6323-92 состава латуни оловянно-свинцовой ЛЦ25С2 (комплект М171), массовая доля элементов (0,37-72,5) %, абсолютная погрешность ±(0,02 - 0,7) % при Р=0,95;
- ГСО 8050-94 состава сплава медно-никелевого типа МН95-5 (М2013х), массовая доля меди 94,92 %, абсолютная погрешность ±0,11 % при Р=0,95.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на анализаторы в виде наклейки и в свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведена в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Р 50.2.006-2001 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений толщины покрытий в диапазоне от 1 до 20000 мкм
ГОСТ Р 8.735.0-2011 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений содержания компонентов в жидких и твердых веществах и материалах. Основные положения Техническая документация фирмы Hitachi High-Tech Science Corporation, Япония
73371-18: Методика поверки МП 47-221-2018Скачать9.0 Мб