Анализатор логический Agilent 93000

Основные
Тип Agilent 93000
Год регистрации 2006
Дата протокола 13д от 16.11.06 п.39
Класс СИ 35.01
Номер сертификата 25757В
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Германия 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Анализатор логический Agilent 93000 (далее - анализатор) предназначен для измерений параметров сигналов при функциональном и параметрическом контроле микросхем с числом выводов до 512 с рабочей частотой последовательности функционального контроля до 100 МГц и применяется для выходного контроля параметров и правильности функционирования микросхем при их разработке и производстве в ОАО «НИИМЭ и з-д Микрон», г. Москва.

Описание

Принцип действия анализатора основан на сравнении с помощью быстродействующих АЦП выходных сигналов микросхем с известным эталонным откликом на задаваемую тестовую последовательность функционального контроля, формируемую анализатором. Анализатор представляет собой измерительно-вычислительный комплекс, в состав которого функционально входят цифровые и аналоговые каналы, измерители параметров, источники силы и напряжения постоянного тока, а также коммутационные устройства и управляющие ПЭВМ.

Конструктивно анализатор выполнен в виде измерительного блока, манипулятора, системы охлаждения, управляющей ПЭВМ.

Технические характеристики

При проведении функционального контроля (ФК) анализатор обеспечивает формирование тестовой последовательности длиной до 56 Мбайт наборов векторов с числом каналов до 512.

Анализатор обеспечивает формирование входных воздействий и контроль ожидаемого состояния на выводах микросхем на каждом канале с поканально - независимым заданием момента контроля. Переключение режима может производится в каждом такте контроля поканально - независимо.

Анализатор обеспечивает задание и контроль на каждом выводе сигнала функционального контроля с параметрами в соответствии с таблицей 1.

Таблица 1

Параметр

Значение

Цифровые каналы

Диапазоны воспроизводимых (измеряемых) напряжений, В

минус 2-^7 (минус 2^-6)

Разрешение, мВ

2,5

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения / измерений напряжений, мВ

±(10/100)

Параметр

Значение

Диапазон воспроизводимой (измеряемой) силы тока, мА

0-35

Разрешение по току, мкА

12,5

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) силы тока, мкА

±425

Диапазон установки частоты следования импульсов, МГц

до 100

Пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты, %

±0,01

Неравномерность вершины импульса, %, не более

8

Выбросы на вершине и в паузе, %, не более

10

Скорость нарастания импульсов, В/нс, не менее

1,2

Аналоговые каналы

Генератор сигналов произвольной формы высокоскоростной

Максимальная частота синусоидального сигнала, МГц

32

Диапазон амплитуд выходного сигнала на нагрузке 50 Ом, В

±2,5

Выходное сопротивление, Ом

50

Диапазон постоянного напряжения смещения в выходном сигнале на нагрузке 50 Ом, В

±2,5

Пределы допускаемой погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока на нагрузке > 10 кОм, где

UB - воспроизводимое напряжения, В

± (0,003-ив + 20 мВ)

АЦП высокого разрешения

Частота дискретизации сигнала, измерений/с

от 8000 до 2048000

Разрешение, бит

16

Диапазоны входных сигналов, В

± 0,2; ± 0,75; ± 1,5; ±3; ±6

Полоса пропускания при ± 6 В, МГц

3

Диапазон установки напряжения смещения, В

± 5

Входное сопротивление, Ом

50;1000000.

Входное сопротивление по дифференциальному входу, Ом

100; 1000000.

Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока, В, для пределов:

±0,2 В

± 0,75 В

± 1,5 В

±зв

±6 в,

где ии3м - измеряемое напряжение, В

± (0,00Гиизм + 5,2 мВ) ± (0,001-иИзм +5,75 мВ) ± (0,001 -UH3M + 6,5 мВ)

± (0,001-иизм + 8 мВ) ±(0,001-иизм + 11 мВ)

Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока по дифференциальному входу, В, для пределов: ±0,2 В

± 0,75 В

± 1,5 В

±3 В

±6В

± (0,0015-иизм± 5,2 мВ) ± (0,0015-ии3м + 5,75 мВ) ± (0,0015'Пизм + 6,5 мВ)

± (0,0015 -иИзм ± 8 мВ) ±(0,0015-и„зм+ И мВ)

АЦП высокого быстродействия

Частота дискретизации сигнала, измерений/с

от 1000000 до 41000000

Разрешение, бит

12

Диапазоны входных сигналов, В

± 0,25; ± 0,5; ± 1,0; ± 2,0

Полоса пропускания при ± 0,5 В, МГц

100

Диапазон установки напряжения смещения, В

± 4

Входное сопротивление, Ом

37,5; 50; 10000

Входное сопротивление по дифференциальному входу, Ом

100; 10000.

Параметр

Значение

Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока, В, для пределов:

± 0,25 В

±0,5 В

± 1 В

±2В

± (0,003-иизм + 6,5 мВ) ± (0,003-иизм + 8 мВ) ± (0,003-иизм ± 11 мВ) ±(0,003-иизм± 17 мВ)

Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока по дифференциальному входу, В, для пределов: ± 0,25 В ±0,5 В ± 1 В ±2В

± (0,003-иизм + 7,5 мВ) ± (0,003-иизм ± 10 мВ) ± (0,003-иизм + 15 мВ) ± (0,003-ии3м + 25 мВ)

Анализаторы обеспечивают воспроизведение и измерение напряжений и силы постоянного тока при параметрическом контроле в соответствии с таблицей 2.

Таблица 2.

Параметр

Диапазоны

Разрешение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспро-изведения/измерения

Воспроизведение (измерение) напряжений измерителями параметров, где U - воспроизводимое (измеряемое) напряжение, В; I - измеряемая (воспроизводимая) сила тока, А

(минус 2 + 7) В

5 мВ

± (0,005-U±20 мВ ±0,5-1)

Воспроизведение (измерение) напряжений высокоточными измерителями параметров

(минус 5 8) В

0,25 мВ

± (2 мВ ± 0,5-1)

Воспроизведение / измерение силы постоянного тока измерителями параметров, где

1в - воспроизводимая сила тока, А;

1изм - измеряемая сила тока, А

± 40 мА

± 1 мА

± 100 мкА

± 10 мкА

20 мкА

0,5 мкА

50 нА

5 нА

± (0,005-1в± 200 мкА)/ ± (0,005-1изм+ 50 мкА)

± (0,005-1в± 5 мкА)/

± (0,005-1изм ± 1,25 мкА) ± (0,005-1в± 500 нА)/ ± (0,005-1„зм+ 125 нА) ±(0,005-1в± 100 нА)/ ± (0,005-1изм+ ЮО нА)

Воспроизведение (измерение) силы постоянного тока высокоточными измерителями параметров

± 200 мА

± 5 мА

± 200 мкА

± 5 мкА

6 мкА 0,25 мкА 6 нА 0,25 нА

±(0,001-1 ±200 мкА) ±(0,001-1 ± 10 мкА) ±(0,001-1 ±200 нА) ±(0,001-1 ± 10 нА)

Воспроизведение напряжений постоянного тока источниками питания

± 7 В (при силе тока от минус 4 до 8 А) ± 8 В (при силе тока ±4 А)

1 мВ

±(0,001-Ub±5mB)

Параметр

Диапазоны

Разрешение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведе-ния/измерения

Измерение силы постоянного тока источниками питания

±8 А ±0,3 А ± 10 мА ±100 мкА

1 мА 30 мкА 1 мкА 10 нА

± (0,00Г1изм ± 20 мА) ± (0,001 1Изм + 300 мкА) ± (0,00Г1Изм +Ю мкА) ± (0,0011Изм + 100 нА)

Воспроизведение силы постоянного тока источниками питания

от минус 4 до 8 А

1 мА

± (0,005-1в + 20 мА)

Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1)Гц, В...........(380 ± 10 %).

Потребляемая мощность, кВА, не более.............................................................................40,4.

Средний срок службы, лет, не менее...................................................................................... 10.

Рабочие условия эксплуатации: температура окружающего воздуха, °C....................................................... от 18 до 22.

относительная влажность воздуха при температуре 20 °C, %.............................до 60.

Габаритные размеры и масса составных частей приведены в таблице 3.

Таблица 3.

Наименование составной части

Габаритные размеры, мм (длина х ширина х высота) не более

Масса, кг, не более

Измерительный блок:

- стойка с электроникой

- измерительный головной блок

1650x600x910

590 х 960 х 760

240

480

Манипулятор

1650x450x910

1287

Система охлаждения

950 х 520 х 865

190

Управляющая ПЭВМ: - рабочая станция - монитор

140x550x550

500 х 700 х 800

14

12

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на титульный лист технической документации фирмы-изготовителя.

Комплектность

В комплект поставки входят: анализатор логический Agilent 93000, комплект эксплуатационной документации, методика поверки.

Поверка

Поверка анализаторов проводится в соответствии с документом “Анализатор логический Agilent 93000. Методика поверки”, утвержденным начальником ГЦИ СИ «Воентест» 32 ГНИИИ МО РФ в сентябре 2006 г. и входящим в комплект поставки.

Средства поверки: мультиметр 34401 А, диапазон измерений напряжения постоянного тока от 1 мкВ до 1000 В, пределы допускаемой погрешности ± 0,008 %, диапазон измерений силы постоянного тока от 10 нА до ЗА, пределы допускаемой погрешности ±0,12 %.; осциллограф цифровой Agilent 54642D, полоса пропускания 0-500 МГц, количество каналов 2, развертка по напряжению от 2 мВ/дел до 5 В/дел.; меры электрического сопротивления образцовые РЗОЗО, Р3031, номинальные значения сопротивлений 100 кОм, 1 кОм, 100 Ом, 10 Ом, 1 мОм, кл. т. 0,02; калибратор программируемый П320, диапазон воспроизводимых напряжений от 1 мкВ до 1000 В, пределы допускаемой погрешности ± (0,001 + 0,01) %.

Межповерочный интервал -1 год.

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя.

Заключение

Тип анализатора логического Agilent 93000 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.

Развернуть полное описание