Назначение
Анализатор логический Agilent 93000 (далее - анализатор) предназначен для измерений параметров сигналов при функциональном и параметрическом контроле микросхем с числом выводов до 512 с рабочей частотой последовательности функционального контроля до 100 МГц и применяется для выходного контроля параметров и правильности функционирования микросхем при их разработке и производстве в ОАО «НИИМЭ и з-д Микрон», г. Москва.
Описание
Принцип действия анализатора основан на сравнении с помощью быстродействующих АЦП выходных сигналов микросхем с известным эталонным откликом на задаваемую тестовую последовательность функционального контроля, формируемую анализатором. Анализатор представляет собой измерительно-вычислительный комплекс, в состав которого функционально входят цифровые и аналоговые каналы, измерители параметров, источники силы и напряжения постоянного тока, а также коммутационные устройства и управляющие ПЭВМ.
Конструктивно анализатор выполнен в виде измерительного блока, манипулятора, системы охлаждения, управляющей ПЭВМ.
Технические характеристики
При проведении функционального контроля (ФК) анализатор обеспечивает формирование тестовой последовательности длиной до 56 Мбайт наборов векторов с числом каналов до 512.
Анализатор обеспечивает формирование входных воздействий и контроль ожидаемого состояния на выводах микросхем на каждом канале с поканально - независимым заданием момента контроля. Переключение режима может производится в каждом такте контроля поканально - независимо.
Анализатор обеспечивает задание и контроль на каждом выводе сигнала функционального контроля с параметрами в соответствии с таблицей 1.
Таблица 1
| Параметр | Значение |
| Цифровые каналы |
| Диапазоны воспроизводимых (измеряемых) напряжений, В | минус 2-^7 (минус 2^-6) |
| Разрешение, мВ | 2,5 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения / измерений напряжений, мВ | ±(10/100) |
| Параметр | Значение |
| Диапазон воспроизводимой (измеряемой) силы тока, мА | 0-35 |
| Разрешение по току, мкА | 12,5 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) силы тока, мкА | ±425 |
| Диапазон установки частоты следования импульсов, МГц | до 100 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты, % | ±0,01 |
| Неравномерность вершины импульса, %, не более | 8 |
| Выбросы на вершине и в паузе, %, не более | 10 |
| Скорость нарастания импульсов, В/нс, не менее | 1,2 |
| Аналоговые каналы |
| Генератор сигналов произвольной формы высокоскоростной |
| Максимальная частота синусоидального сигнала, МГц | 32 |
| Диапазон амплитуд выходного сигнала на нагрузке 50 Ом, В | ±2,5 |
| Выходное сопротивление, Ом | 50 |
| Диапазон постоянного напряжения смещения в выходном сигнале на нагрузке 50 Ом, В | ±2,5 |
| Пределы допускаемой погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока на нагрузке > 10 кОм, где UB - воспроизводимое напряжения, В | ± (0,003-ив + 20 мВ) |
| АЦП высокого разрешения |
| Частота дискретизации сигнала, измерений/с | от 8000 до 2048000 |
| Разрешение, бит | 16 |
| Диапазоны входных сигналов, В | ± 0,2; ± 0,75; ± 1,5; ±3; ±6 |
| Полоса пропускания при ± 6 В, МГц | 3 |
| Диапазон установки напряжения смещения, В | ± 5 |
| Входное сопротивление, Ом | 50;1000000. |
| Входное сопротивление по дифференциальному входу, Ом | 100; 1000000. |
| Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока, В, для пределов: ±0,2 В ± 0,75 В ± 1,5 В ±зв ±6 в, где ии3м - измеряемое напряжение, В | ± (0,00Гиизм + 5,2 мВ) ± (0,001-иИзм +5,75 мВ) ± (0,001 -UH3M + 6,5 мВ) ± (0,001-иизм + 8 мВ) ±(0,001-иизм + 11 мВ) |
| Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока по дифференциальному входу, В, для пределов: ±0,2 В ± 0,75 В ± 1,5 В ±3 В ±6В | ± (0,0015-иизм± 5,2 мВ) ± (0,0015-ии3м + 5,75 мВ) ± (0,0015'Пизм + 6,5 мВ) ± (0,0015 -иИзм ± 8 мВ) ±(0,0015-и„зм+ И мВ) |
| АЦП высокого быстродействия |
| Частота дискретизации сигнала, измерений/с | от 1000000 до 41000000 |
| Разрешение, бит | 12 |
| Диапазоны входных сигналов, В | ± 0,25; ± 0,5; ± 1,0; ± 2,0 |
| Полоса пропускания при ± 0,5 В, МГц | 100 |
| Диапазон установки напряжения смещения, В | ± 4 |
| Входное сопротивление, Ом | 37,5; 50; 10000 |
| Входное сопротивление по дифференциальному входу, Ом | 100; 10000. |
| Параметр | Значение |
| Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока, В, для пределов: ± 0,25 В ±0,5 В ± 1 В ±2В | ± (0,003-иизм + 6,5 мВ) ± (0,003-иизм + 8 мВ) ± (0,003-иизм ± 11 мВ) ±(0,003-иизм± 17 мВ) |
| Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока по дифференциальному входу, В, для пределов: ± 0,25 В ±0,5 В ± 1 В ±2В | ± (0,003-иизм + 7,5 мВ) ± (0,003-иизм ± 10 мВ) ± (0,003-иизм + 15 мВ) ± (0,003-ии3м + 25 мВ) |
Анализаторы обеспечивают воспроизведение и измерение напряжений и силы постоянного тока при параметрическом контроле в соответствии с таблицей 2.
Таблица 2.
| Параметр | Диапазоны | Разрешение | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспро-изведения/измерения |
| Воспроизведение (измерение) напряжений измерителями параметров, где U - воспроизводимое (измеряемое) напряжение, В; I - измеряемая (воспроизводимая) сила тока, А | (минус 2 + 7) В | 5 мВ | ± (0,005-U±20 мВ ±0,5-1) |
| Воспроизведение (измерение) напряжений высокоточными измерителями параметров | (минус 5 8) В | 0,25 мВ | ± (2 мВ ± 0,5-1) |
| Воспроизведение / измерение силы постоянного тока измерителями параметров, где 1в - воспроизводимая сила тока, А; 1изм - измеряемая сила тока, А | ± 40 мА ± 1 мА ± 100 мкА ± 10 мкА | 20 мкА 0,5 мкА 50 нА 5 нА | ± (0,005-1в± 200 мкА)/ ± (0,005-1изм+ 50 мкА) ± (0,005-1в± 5 мкА)/ ± (0,005-1изм ± 1,25 мкА) ± (0,005-1в± 500 нА)/ ± (0,005-1„зм+ 125 нА) ±(0,005-1в± 100 нА)/ ± (0,005-1изм+ ЮО нА) |
| Воспроизведение (измерение) силы постоянного тока высокоточными измерителями параметров | ± 200 мА ± 5 мА ± 200 мкА ± 5 мкА | 6 мкА 0,25 мкА 6 нА 0,25 нА | ±(0,001-1 ±200 мкА) ±(0,001-1 ± 10 мкА) ±(0,001-1 ±200 нА) ±(0,001-1 ± 10 нА) |
| Воспроизведение напряжений постоянного тока источниками питания | ± 7 В (при силе тока от минус 4 до 8 А) ± 8 В (при силе тока ±4 А) | 1 мВ | ±(0,001-Ub±5mB) |
| Параметр | Диапазоны | Разрешение | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведе-ния/измерения |
| Измерение силы постоянного тока источниками питания | ±8 А ±0,3 А ± 10 мА ±100 мкА | 1 мА 30 мкА 1 мкА 10 нА | ± (0,00Г1изм ± 20 мА) ± (0,001 1Изм + 300 мкА) ± (0,00Г1Изм +Ю мкА) ± (0,0011Изм + 100 нА) |
| Воспроизведение силы постоянного тока источниками питания | от минус 4 до 8 А | 1 мА | ± (0,005-1в + 20 мА) |
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1)Гц, В...........(380 ± 10 %).
Потребляемая мощность, кВА, не более.............................................................................40,4.
Средний срок службы, лет, не менее...................................................................................... 10.
Рабочие условия эксплуатации: температура окружающего воздуха, °C....................................................... от 18 до 22.
относительная влажность воздуха при температуре 20 °C, %.............................до 60.
Габаритные размеры и масса составных частей приведены в таблице 3.
Таблица 3.
| Наименование составной части | Габаритные размеры, мм (длина х ширина х высота) не более | Масса, кг, не более |
| Измерительный блок: - стойка с электроникой - измерительный головной блок | 1650x600x910 590 х 960 х 760 | 240 480 |
| Манипулятор | 1650x450x910 | 1287 |
| Система охлаждения | 950 х 520 х 865 | 190 |
| Управляющая ПЭВМ: - рабочая станция - монитор | 140x550x550 500 х 700 х 800 | 14 12 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист технической документации фирмы-изготовителя.
Комплектность
В комплект поставки входят: анализатор логический Agilent 93000, комплект эксплуатационной документации, методика поверки.
Поверка
Поверка анализаторов проводится в соответствии с документом “Анализатор логический Agilent 93000. Методика поверки”, утвержденным начальником ГЦИ СИ «Воентест» 32 ГНИИИ МО РФ в сентябре 2006 г. и входящим в комплект поставки.
Средства поверки: мультиметр 34401 А, диапазон измерений напряжения постоянного тока от 1 мкВ до 1000 В, пределы допускаемой погрешности ± 0,008 %, диапазон измерений силы постоянного тока от 10 нА до ЗА, пределы допускаемой погрешности ±0,12 %.; осциллограф цифровой Agilent 54642D, полоса пропускания 0-500 МГц, количество каналов 2, развертка по напряжению от 2 мВ/дел до 5 В/дел.; меры электрического сопротивления образцовые РЗОЗО, Р3031, номинальные значения сопротивлений 100 кОм, 1 кОм, 100 Ом, 10 Ом, 1 мОм, кл. т. 0,02; калибратор программируемый П320, диапазон воспроизводимых напряжений от 1 мкВ до 1000 В, пределы допускаемой погрешности ± (0,001 + 0,01) %.
Межповерочный интервал -1 год.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Заключение
Тип анализатора логического Agilent 93000 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.
